Alümina Seramik Manipülatör

Alümina seramik manipülatöralümina seramik çatal ve levha işleme uç efektörü olarak da adlandırılır. Gofret taşıma robotunun üzerine monte edilir ve robotun eline eşdeğerdir. Yarı iletken levhaların taşınması, taşınması ve konumlandırılması için kullanılır.Silikon gofretdiğer parçacıklardan kaynaklanan kirlenmeye son derece duyarlıdır, bu nedenle temizliği sağlamak için genellikle vakumlu bir ortamda işlenirler. Alümina seramik manipülatörler, levhaları çıkarmak ve yarı iletken levhaları kolun teleskopik, döndürme ve kaldırma hareketleri yoluyla taşımak için negatif basınçlı emme kullanır. Alümina seramik manipülatörün içinde, hava pompalarken vakum oluşturabilen hava delikleri ve havalandırma olukları vardır, böylece yarı iletken levhalar, yarı iletken levhaları sıkıştırmadan veya zarar vermeden hafif temasla adsorbe edilebilir.

Bileşiminin ne kadar saf olduğu iyi bilinmektedir.alümina seramikyani gücü o kadar yüksek olacaktır. Semicorex alümina seramik manipülatörler yüksek saflıkta alümina seramikten yapılmıştır. Bunun sonucunda olağanüstü mekanik mukavemet ve sertlik elde edilir. Aşınma dirençleri çelik ve krom çeliğinkini çok aşıyor, bu da onların yüksek sürtünmeli ortamlarda zaman içinde yüzey doğruluğunu korumalarına olanak tanıyor, levha çizilme riskini azaltıyor ve onları yüksek hassasiyetli kullanım için ideal hale getiriyor. Bu alümina seramik manipülatör yüksek dirence sahiptir. Olağanüstü elektriksel yalıtım özellikleri, elektrostatik paraziti etkili bir şekilde önleyebilir ve temiz bir levha yüzeyi sağlamak için partikül adsorpsiyonu riskini azaltabilir. Ayrıca yarı iletken üretim süreci, ekipman içindeki karmaşık devreleri ve yüksek voltajlı ortamları içerir. Yüksek dirençli alümina seramik manipülatör, akım iletimini etkili bir şekilde bloke ederek yarı iletken levha kullanımı sırasında elektriksel güvenliği sağlar. Alümina seramiğin yüksek sıcaklık direnci ve termal stabilitesi sayesinde manipülatör, yarı iletken ısıl işlem işlemi sırasında çok az deforme olur, levhaları doğru şekilde konumlandırabilir ve termal deformasyonun neden olduğu hassas sapmayı önleyebilir. Ayrıca, bu malzeme mükemmel kimyasal stabiliteye sahiptir ve asitler, alkaliler, erimiş metaller vb. tarafından korozyona karşı oldukça dirençlidir. Kirletici parçacıkları serbest bırakmak için diğer maddelerle reaksiyona girmesi kolay değildir ve yarı iletken parçaları kimyasal kirlenmeden etkili bir şekilde koruyabilir.