Alümina montaj taban plakaları

Semicorex alümina montaj baz plakaları, yarı iletken imalat ekipmanlarında montaj işçileri için dayanıklı ve kararlı bazlar olarak tasarlanmış yüksek saflıkta seramik ürünlerdir. Bu plakalar, litografi, aşındırma, biriktirme ve muayene gibi gofret işleme işlemleri için kritik mekanik destek ve hizalama sağlar. Gofret işlemenin gerekli sadakatle gerçekleşebilmesini sağlamak için iş mandrenini diğer sistem bileşenleriyle doğru bir şekilde hizalamak önemlidir. Plakalar, hem proses hem de temiz oda ortamlarında modern yarı iletken imalatının sert gereksinimlerini karşılamak için gerekli düzlüğü, yüksek sıcaklık dayanıklılığını ve uzun vadeli güvenilirliği elde etmek için seramiklere özgü işleme teknikleri yoluyla üretilir.

Semicorex alümina montaj baz plakaları yüksek saflıktan yapılıralüminaSaflık seviyesine sahip olmak ≧% 99.5 (tipik). Yüksek saflıkta bir alümin, sertliğin yanı sıra iyi mekanik ve termal özelliklere sahiptir. Yüksek saflıkta alümina, bu plakaların vakum ve elektrik parazitinin bir sorun olabileceği yüksek voltaj uygulamalarında kullanılmasına izin veren mükemmel doğal elektrik yalıtım özelliklerine sahiptir. Alümina, plakaların çoğu malzemeden daha iyi boyutsal doğruluğu korumasını sağlayan ve termal genleşmenin azalması nedeniyle hizalamayı veya yapısal stabiliteyi korumak için yararlı olan termal döngülere dirençli olacaktır. Bu faktör, genişletilmiş üretim döngüleri üzerinde çalışırken, chuck tekrarlanabilirliği ve örtük süreç toleranslarının sağlanmasında önemlidir.

Yarı iletken işleme sistemlerinde, bir montaj tabanı plakası sadece mekanik sabitleme için bir cihaz değildir. Chuck ve ekipmanın geri kalanı arasındaki termal temas ortamıdır ve termal dağılma, yapısal bütünlük ve titreşim izolasyonu için kritiktir. Yüksek sıcaklıkların ve vakum basınçlarının yaygın olduğu CVD, PVD veya iyon implantasyonu gibi (ancak bunlarla sınırlı değil) işleme eylemleri, bir montaj tabanının termal olarak dirençli, kimyasal olarak inert ve dirençli, mekanik olarak ses ve termal şoka dirençli olmasını gerektirir. Kimyasal inertlik hayati önem taşır, çünkü bir montaj reaktif gazlarla uyumlu olmalı ve kimyaları temizlemeli, montajın faydalı ömrünü uzatmalı ve kontaminasyonu önlemelidir.

Semicorex tarafından yapılan her alümina montaj baz plakası, yarı iletken OEM'ler ve ekipman entegratörleri tarafından talep edilen toleranslara işlenir. Plakalar, maksimum stabilite ve tekrarlanabilirliği sağlamak için kalınlık, yükseklik varyasyonu ve düzlük için sıkı toleranslara işlenir. Bu montaj plakaları, iş mandrenlerini, mekanik aşamaları veya diğer ekipmanları daha iyi karşılamak için müşteri özelliklerine montaj delikleri, yuvalar veya karşılama ile yapılabilir. Alümina seramik, zaman içinde tutarlı termal temas ve kullanım için hizalama sağlamak için tek tip bir mikroyapı ve yüzey kalitesini optimize etmek için modern sinterleme ve hassas öğütme teknikleri kullanılarak işlenir.

Semicorex alümina montaj baz plakaları, gofret işleyicileri, robotik transfer sistemleri, vakum aynası montajları ve metroloji aşamaları gibi çeşitli uygulamalarda kullanılır. Çeşitli zorlu süreç durumlarında bu güvenilirlik ve dayanıklılık, onları sağlam, uzun ömürlü, düşük bakımlı seramik bileşenler arayan takım üreticileri ile tercih edilen ürün haline getirir. Mühendislik grubumuz, bir yarı iletkende üretim için verimliliği en üst düzeye çıkarmak için her bir plaka için belirtilen benzersiz çözümler sunmak için müşterilerle ortaklaşa işbirliği yapar.

Alümina montaj baz plakaları sadece mekanik bir destekten daha fazlasıdır; Yarı iletken endüstrisinde hassas mühendislikte önemli bir bileşendir. Mükemmel mekanik stabilite, saflık ve konfigürasyon ile, geniş bir proses araçlarında doğru hizalama, uzun ömür ve güvenilir çalışma sağlarlar. Yüksek performanslı montaj tabanı plakaları için, günümüzün yarı iletken üreticilerinin yüksek beklentilerini karşılayan Semicorex'e güven.