Alümina robot kolu

Semicorex alümina robot kolu, yarı iletken üretiminde gofret taşıma ve transfer görevleri için tasarlanmış yüksek performanslı bir seramik kısımdır. Yüksek saflıkta alümina seramikten (al₂o₃) yapılan bu robotik kol, temiz odalarda esneklik, hassasiyet, güvenilirlik ve dayanıklılık sunar.

Alümina robot kolu lehine göze çarpan şey,alümina seramikmekanik mukavemet ve sertlik. Gibialüminadaha saf hale getirilir, alümina daha iyi bir yapısal bütünlüğü korur ve mekanik aşınma ve deformasyona daha dirençli hale getirir. Bir malzeme olarak, alümina, hassas ve tekrarlayan gofret kullanan görevlerde kullanılan robotik parçalar için mükemmel bir seçimdir, yani bir robot kolunun aynı işlevi yerine getirmesi ve gofretlerle temas etmesi gerektiğinde, robot kolu tarafından gofrete uygulanan küçük çarpıklığın bir tesis verimi kayıplarına mal olabileceği. Yüksek sertlik, yani katı yüzeyler, aşındırıcı direnç ve fonksiyonel ömre yardımcı olabilir, yani robotik bir bileşende hizmet/ değiştirme süresini/ değiştirme süresini uzatır.

Mekanik dayanıklılığının ötesinde, alümina robot kolu da mükemmel bir elektrik izolatörüdür. Direnç 10⁵ Ω · cm'ye kadardır ve yalıtım mukavemeti oda sıcaklığında 15 kV/mm'ye kadardır, bu da özellikle işleme ekipmanında müdahale eden elektrik sinyalleri azaltılması gerektiğinde çalışması için çok daha güvenli bir ortam sağlar. Bu, minimum elektrostatik deşarj (ESD) hasarı riski olan işlemler arasında aktarılan hassas yarı iletken bileşenleri korurken önemli hale gelir.

Alümina seramik, çok yüksek sıcaklıklarda stabiliteyi korumada mükemmeldir. Erime noktası yaklaşık 2050 ° C'dir ve yarı iletken termal işlemede çarpıtma veya boyutsal doğruluk olmadan yüksek sıcaklıklara dayanacaktır. Yüksek ısı direnci, kolun hızlı termal tavlama (RTA) veya kimyasal buhar birikimi (CVD) gibi işlemlerde kullanılmasına izin verir; burada hassas hizalama ve termal stabilite kritiktir.

Alümina robot kolunun diğer önemli faydalarından biri onun acımasızlığıdır. Yüzeyi, yarı iletken üretiminde kullanılan çoğu temizlik ajanı ve proses gazları için inerttir. Bu nedenle, kontaminasyonsuz kalacak ve gofret yüzey kontaminasyonuna katkıda bulunmayacaktır. Bu kimyasal inertlik, ultra temiz üretim koşullarına ulaşmanın ve tutarlı cihaz performansı sağlamanın anahtarıdır.

Alümina seramikayrıca yarı iletken takımlar için uygun bir seçenektir. Hammadde olarak kolayca mevcuttur ve alümina seramiklerinin işleme işlemleri iyi anlaşılmış ve kolayca ölçeklenebilir. Bu, yüksek kaliteli parçaların rekabetçi bir fiyata üretilmesi için tekrarlanabilir ve tutarlı toleranslara izin verir. Performans ve satın alınabilirlik karışımı, alümina robot kolunu, bankayı kırmayan güvenilir otomasyon bileşenlerine ihtiyacınız olan OEM'ler ve yarı iletken fablar için ideal hale getirir.

Özetle, alümina robot kolu yüksek mekanik performans, yüksek dielektrik performans, yüksek termal direnç, yüksek kimyasal performans, hepsi de ekonomik bir fiyata kanıtlanmış üretilebilirlik sağlar. Toplu olarak, bu performans özellikleri, yarı iletken üretiminde hassas gofret taşıma uygulamaları için güvenilir ve verimli hale getirir, gelişmiş verimi sağlar, potansiyel olarak kontaminasyon riskini düşürür ve genel ekipman etkinliğini artırır.