Seramik Elektrostatik Aynalar

Seramik elektrostatik aynalarlevhaları kelepçelemek ve sabitlemek için elektrotlar ve levhalar arasında oluşturulan elektrostatik alanı kullanan hassas bileşenlerdir. Yarı iletkenler, düz panel ekranlar ve optik gibi alanlarda yaygın olarak uygulanırlar ve PVD cihazları, aşındırma makineleri ve iyon implanterleri gibi ileri teknoloji ekipmanların temel bileşenleridir.

Bazı seramik elektrostatik aynalar, geri üfleme gazı veya dahili ısıtma elektrotları yoluyla levha sıcaklığını doğru bir şekilde kontrol edebilen, farklı proseslerin katı sıcaklık gereksinimlerine uyum sağlayabilen ve işleme stabilitesini geliştirebilen entegre ısıtma fonksiyonlarına sahiptir.gofretgeleneksel mekanik aynaların neden olabileceği bükülme veya deformasyon veyavakum aynalarıve levhanın yüksek hassasiyetli yarı iletken işlemlere uygun işleme doğruluğunu sürdürmesinin sağlanması.

Bazı seramik elektrostatik aynalar, geri üfleme gazı veya dahili ısıtma elektrotları yoluyla levha sıcaklığını doğru bir şekilde kontrol edebilen, farklı proseslerin katı sıcaklık gereksinimlerine uyum sağlayabilen ve işleme stabilitesini geliştirebilen entegre ısıtma fonksiyonlarına sahiptir.

Mekanik aynaların aksine, seramik elektrostatik aynalar mekanik hareketli parçaları azaltır, partikül kirletici maddelerin levha kalitesi üzerindeki etkisini azaltır, levha yüzeyinin temizliğini etkili bir şekilde korur ve ürün verimini artırır.

Seramik elektrostatik aynalar geniş uyumluluk sunar. Çeşitli yarı iletken üretim ihtiyaçlarını karşılayan, silikon, galyum arsenit ve silikon karbür dahil olmak üzere çeşitli boyutlarda ve malzemelerden oluşan levhaları barındırabilirler.

İyon implantasyonu ve CVD gibi yüksek vakumlu ortamlarda istikrarlı bir şekilde çalışabilirler, vakum ortamında levhaları ememeyen geleneksel vakum aynalarının sınırlamalarının üstesinden gelebilirler ve iyon implantasyonu, kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve yarı iletken imalatındaki diğer proseslerin proses gereksinimlerini mükemmel şekilde karşılayabilirler.