CVD ve CVI Vakum Fırını

Semicorex, Çin'de Silisyum Karbür Kaplamalı ürünlerin büyük ölçekli üreticisi ve tedarikçisidir. Özel fırın çözümleri sunuyoruz. CVD ve CVI Vakum Fırınımız iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Semicorex CVD ve CVI Vakum Fırını, kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemleri için tasarlanmış yüksek kaliteli bir araçtır. 2200°C'ye kadar reaksiyon sıcaklıkları. Silisyum karbür, bor nitrür, grafen ve daha fazlası dahil olmak üzere çok çeşitli malzemeleri biriktirebilir. CVD fırını sağlam bir tasarıma sahiptir ve uzun süreli kullanım için güvenilirlik ve dayanıklılık sağlayan yüksek kaliteli malzemelerden yapılmıştır. Hem yatay hem de dikey yapıya sahiptir.

Başvuru:C/C kompozit fren diski, pota, kalıp vb.

Semicorex CVD ve CVI Vakum Fırınının Özellikleri

1. Uzun süreli kullanım için yüksek kaliteli malzemelerden yapılmış sağlam tasarım;

2. Kütle akış kontrolörleri ve yüksek kaliteli valfler kullanılarak hassas kontrollü gaz dağıtımı;

3. Güvenli ve güvenilir çalışma için aşırı sıcaklık koruması ve gaz kaçağı tespiti gibi güvenlik özellikleriyle donatılmıştır;

4. Çoklu sıcaklık kontrol bölgelerini kullanma, mükemmel sıcaklık homojenliği;

5. İyi sızdırmazlık etkisi ve mükemmel kirlenme önleme performansı ile özel olarak tasarlanmış biriktirme odası;

6. Birikim ölü köşeleri ve mükemmel birikme yüzeyi olmadan, düzgün gaz akışına sahip çoklu biriktirme kanallarının kullanılması;

7. Biriktirme işlemi sırasında katran, katı toz ve organik gazlar için arıtma işlemine sahiptir.

Opsiyonel özellikler:

â¢Fırın kapısı: vidalı/hidrolik/manuel yükseltme tipi; döner açma/paralel açma (büyük boy

fırın kapısı); manuel sıkı/otomatik kilit halkası sıkı

â¢ Fırın kabı: tamamen karbon çeliği/iç katman paslanmaz çelik/tamamen paslanmaz çelik

â¢Fırın sıcak bölgesi: yumuşak karbon keçe/yumuşak grafit keçe/sert kompozit keçe/CFC

â¢Isıtma elemanı ve susturucu: izostatik pres grafit/yüksek saflıkta, mukavemet ve yoğunlukta grafit/ince boyutlu grafit

â¢ Proses gazı sistemi: hacim/kütle akış ölçer

â¢ Termokupl: K tipi/N tipi/C tipi/S tipi

CVD Fırınının Özellikleri
modeli	Çalışma Alanı Boyutu (G × Y × U) mm	Maks. Sıcaklık (°C)	Sıcaklık Tekdüzelik (°C)	Nihai Vakum (Pa)	Basınç Artış Oranı (Pa/h)
LFH-6900-C	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-C	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-C	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-C	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-C	Ï300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	Ï600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	Ï800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-C	Ï1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-C	Ï2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

*Yukarıdaki parametreler proses gereksinimlerine göre ayarlanabilir, kabul standardı, detay özellikleri değildir. teknik teklif ve sözleşmelerde belirtilecektir.