CVD ve CVI Vakum Fırını

Semicorex, Çin'deki Silisyum Karbür Kaplamalı ürünlerin büyük ölçekli üreticisi ve tedarikçisidir. Özel fırın çözümleri sunuyoruz. CVD ve CVI Vakum Fırınımız iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve birçok Avrupa ve Amerika pazarını kapsamaktadır. Uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Semicorex CVD ve CVI Vakum Fırını, kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemleri için tasarlanmış yüksek kaliteli bir araçtır. Reaksiyon sıcaklığı 2200°C'ye kadar çıkar. Silisyum karbür, bor nitrür, grafen ve daha fazlasını içeren çok çeşitli malzemeleri biriktirme kapasitesine sahiptir. CVD fırını sağlam bir tasarıma sahiptir ve uzun süreli kullanım için güvenilirlik ve dayanıklılık sağlayan yüksek kaliteli malzemelerden yapılmıştır. Hem yatay hem de dikey yapıya sahiptir.

Başvuru:C/C kompozit fren diski, pota, kalıp vb.

Semicorex CVD ve CVI Vakum Fırınının Özellikleri

1. Uzun süreli kullanım için yüksek kaliteli malzemelerden yapılmış sağlam tasarım;

2. Kütle akış kontrolörleri ve yüksek kaliteli valflerin kullanımı yoluyla hassas şekilde kontrol edilen gaz dağıtımı;

3. Güvenli ve güvenilir çalışma için aşırı sıcaklık koruması ve gaz sızıntısı tespiti gibi güvenlik özellikleriyle donatılmıştır;

4. Çoklu sıcaklık kontrol bölgelerinin kullanılması, mükemmel sıcaklık bütünlüğü;

5. İyi sızdırmazlık etkisi ve mükemmel kirlenme önleme performansı ile özel olarak tasarlanmış biriktirme odası;

6. Biriktirme ölü köşeleri ve mükemmel biriktirme yüzeyi olmadan, düzgün gaz akışına sahip çoklu biriktirme kanallarının kullanılması;

7. Biriktirme işlemi sırasında katran, katı toz ve organik gazlar için arıtma vardır

İsteğe Bağlı Özellikler:

•Fırın kapısı: vidalı/hidrolik/manuel yükseltme tipi; döner açıklık/paralel açıklık (büyük boy

fırın kapısı); manuel sıkı/otomatik kilit halkası sıkı

• Fırın kabı: tamamı karbon çeliği/iç katman paslanmaz çelik/tamamı paslanmaz çelik

•Fırın sıcak bölgesi: yumuşak karbon keçe/yumuşak grafit keçe/sert kompozit keçe/CFC

•Isıtma elemanı ve susturucu: izostatik pres grafit/yüksek saflıkta, mukavemet ve yoğunlukta grafit/ince boyutlu grafit

• Proses gazı sistemi: hacim/kütle akış ölçer

• Termokupl: K tipi/N tipi/C tipi/S tipi

CVD Fırınının Özellikleri
Modeli	Çalışma Bölgesi Boyutu (G × Y × U) mm	Maks. Sıcaklık (°C)	Sıcaklık Tekdüzelik (°C)	Üstün Vakum (Pa)	Basınç Artış Hızı (Pa/h)
LFH-6900-C	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-C	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-C	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-C	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-C	φ300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	φ600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	φ800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-C	φ1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-C	φ2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

*Yukarıdaki parametreler proses gereksinimlerine göre ayarlanabilir; bunlar kabul standardı değildir, detay spesifikasyonudur. teknik teklif ve anlaşmalarda belirtilecektir.