SiC Kaplamalı CVD duş başlığı

Yüksek saflıkta grafitten üretilen ve CVD yöntemiyle ince bir SiC katmanıyla kaplanan SiC Kaplamalı CVD duş başlığı, hem grafitin hem de SiC'nin avantajlı özelliklerini birleştiriyor. Bu sinerji, yalnızca gazların tutarlı ve doğru dağılımını sağlamada üstün olan değil, aynı zamanda biriktirme ortamlarında sıklıkla karşılaşılan termal ve kimyasal zorluklara karşı dikkate değer bir dirence sahip olan bir bileşenle sonuçlanır.

SiC Kaplamalı CVD duş başlığının işlevselliğinin anahtarı, öncül gazları alt katman yüzeyi boyunca eşit şekilde dağıtma becerisidir; bu görev, alt katmanın üzerindeki stratejik yerleşimi ve yüzeyini noktalayan küçük deliklerin veya ağızlıkların titiz tasarımıyla gerçekleştirilir. Bu tekdüze dağılım, tutarlı biriktirme sonuçlarına ulaşmak için çok önemlidir.

SiC Kaplamalı CVD duş başlığı için kaplama malzemesi olarak SiC'nin seçimi keyfi değildir; üstün termal iletkenliği ve kimyasal stabilitesi sayesinde sağlanır. Bu özellikler, CVD proseslerinin tipik özelliği olan aşındırıcı gazlara ve zorlu koşullara karşı sağlam bir savunma sağlamanın yanı sıra, biriktirme prosesi sırasında ısı birikimini azaltmak ve alt tabaka boyunca eşit bir sıcaklığı korumak için gereklidir.

Değişen CVD sistemlerinin ve proses gereksinimlerinin özel taleplerini karşılamak üzere özel olarak tasarlanan SiC Kaplamalı CVD duş başlığının tasarımı, titizlikle hesaplanmış bir dizi delik veya yuvayla donatılmış bir plaka veya disk şeklini kapsar. SiC Coat tasarımına sahip CVD duş başlığı, yalnızca eşit gaz dağılımını değil aynı zamanda biriktirme işlemi için gerekli olan optimum akış hızlarını da sağlayarak, malzeme biriktirme süreçlerinde hassasiyet ve tekdüzelik arayışında bileşenin temel taş rolünü vurguluyor.