E-Ayna

Semicorex E-Chuck, yüksek saflıkta alüminadan yapılmış Coulomb tipi ESC'dir ve aşındırma makineleri, iyon implantasyon sistemleri, fiziksel buhar biriktirme (PVD) ve kimyasal buhar biriktirme (CVD) sistemleri dahil olmak üzere çeşitli ekipmanlarda olağanüstü performans sunar. . Birincil işlevi, kritik işlemler sırasında levhaları güvenli bir şekilde yerinde tutarak hassasiyet, güvenilirlik ve gelişmiş üretkenlik sağlamaktır.


Coulomb tipi elektrostatik aynanın çalışmasının ardındaki prensip, elektrostatik çekime dayanmaktadır. Elektrostatik aynaya yüksek voltajlı bir doğru akım (DC) uygulandığında, seramik dielektrik katman ile yarı iletken levha gibi tutulacak ürün arasında polarizasyon meydana gelir. Üretilen elektrostatik kuvvetler, levha üzerinde sağlam ancak yumuşak bir tutuş oluşturarak, yarı iletken üretim süreçlerine özgü yüksek hız ve yüksek stres koşulları altında bile yerinde kalmasını sağlar. Semicorex E-Chuck'ın yapımında kullanılan yüksek performanslı alümina malzeme, mükemmel yalıtım özellikleri ve yüksek termal direnci sayesinde bu amaç için mükemmel dielektrik ortamı sağlar.

Coulomb tipi E-Aynanın kritik bir yönü, levha ile ayna yüzeyi arasında tutarlı ve düzgün teması sürdürme yeteneğidir. Bu, aşındırma, biriktirme veya iyon implantasyonu gibi çeşitli işlem aşamalarında levhaların güvenli bir şekilde tutulmasını sağlar. Aynanın tasarımındaki yüksek hassasiyet, levha boyunca eşit kuvvet dağılımını garanti eder; bu, yarı iletken üretiminde talep edilen yüksek kaliteli çıktının elde edilmesi için kritik öneme sahiptir. Ayrıca, bu hassas tutma mekanizması, çalışma sırasında minimum hareket veya kayma sağlayarak, genellikle kırılgan ve pahalı olan levhalardaki kusurları veya hasarları önler.

Semicorex E-Chuck, onu yarı iletken üretimi için ideal bir seçim haline getiren çeşitli temel özellikler sunar. İlk olarak, aynanın içindeki dahili elektrotlar, aşındırma ve biriktirme işlemlerine özgü zorlu plazma ortamlarında bile levhanın emniyetli ve güvenilir şekilde sabitlenmesini sağlar. Bu sabitleme yöntemi, prosesin hassasiyetini ve son yarı iletken ürünün kalitesini doğrudan etkileyen levha hizalama ve stabilitesini korumak için çok önemlidir.

Bir diğer önemli özellik ise, işleme sırasında gofretin sıcaklığı üzerinde hassas kontrol sağlayan yerleşik ısıtıcıların entegrasyonudur. Yarı iletken üretim süreçleri genellikle istenen malzeme özelliklerini veya aşındırma özelliklerini elde etmek için belirli termal koşullar gerektirir. Semicorex E-Chuck, levha boyunca tutarlı ve eşit ısıtma sağlayan, kusurlara veya eşit olmayan sonuçlara yol açabilecek termal değişimleri önleyen çok bölgeli sıcaklık kontrolü ile donatılmıştır. Bu seviyedeki sıcaklık kontrolü, yüksek kaliteli ince filmler üretmek için tekdüze malzeme birikiminin gerekli olduğu CVD ve PVD gibi işlemlerde özellikle kritik öneme sahiptir.

Ek olarak, E-Chuck'ın yapımında yüksek saflıkta alümina kullanılması, yarı iletken üretiminde önemli bir sorun olan parçacık kirlenmesini en aza indirir. Küçük miktarlardaki kirlenme bile nihai üründe kusurlara yol açarak verimi düşürebilir ve maliyetleri artırabilir. Semicorex E-Chuck'ın düşük parçacık üretme özelliği, levhanın süreç boyunca temiz kalmasını sağlayarak üreticilerin daha yüksek verim ve daha iyi ürün güvenilirliği elde etmesine yardımcı olur.

E-Chuck aynı zamanda performansındaki bir diğer kritik faktör olan plazma erozyonuna karşı da oldukça dirençli olacak şekilde tasarlanmıştır. Plakaların yüksek derecede reaktif iyonize gazlara maruz kaldığı plazma aşındırma gibi işlemlerde, aynanın kendisi, kirletici maddeleri bozmadan veya serbest bırakmadan bu zorlu koşullara dayanabilmelidir. Semicorex E-Chuck'ta kullanılan alüminanın plazmaya dayanıklı özellikleri, onu bu zorlu ortamlar için ideal hale getirerek uzun süreli dayanıklılık ve uzun süreler boyunca tutarlı performans sağlar.

Semicorex E-Chuck'ın mekanik mukavemeti ve yüksek hassasiyetli işlemesi de dikkat çekicidir. Yarı iletken plakaların hassas doğası ve üretimde gerekli olan sıkı toleranslar göz önüne alındığında, aynanın kesin standartlara göre üretilmesi çok önemlidir. E-Chuck'ın yüksek hassasiyetli şekli ve yüzey kaplaması, levhaların güvenli ve eşit bir şekilde tutulmasını sağlayarak hasar veya işleme tutarsızlıkları riskini azaltır. Mükemmel termal ve elektriksel özelliklerle birleşen bu mekanik sağlamlık, Semicorex E-Chuck'ı çok çeşitli yarı iletken işlemler için güvenilir ve çok yönlü bir çözüm haline getirir.

Semicorex E-Chuck, yarı iletken üretiminin karmaşık talepleri için gelişmiş bir çözümü temsil ediyor. Coulomb tipi elektrostatik kelepçeleme, yüksek saflıkta alümina yapı, entegre ısıtma özellikleri ve plazma erozyonuna karşı direncin birleşimi, onu dağlama, iyon implantasyonu, PVD ve CVD gibi işlemlerde yüksek hassasiyet ve güvenilirlik elde etmek için vazgeçilmez bir araç haline getiriyor. Özelleştirilebilir tasarımı ve sağlam performansıyla Semicorex E-Chuck, yarı iletken üretim hatlarının verimliliğini ve verimini artırmak isteyen üreticiler için ideal bir seçimdir.