Elektrostatik Ayna

Yüksek saflıkta alümina seramik kullanan Semicorex Elektrostatik Chuck, hassasiyet, stabilite ve temizliğe öncelik veren ayarlarda birinci sınıf performans sunar. Alüminyum oksit (Al2O3) olarak da bilinen alümina, olağanüstü elektrik yalıtım özellikleri, yüksek ısı iletkenliği ve olağanüstü mekanik mukavemeti ile tanınan bir seramik malzemedir. Bu özellikler onu, yarı iletken işlemenin zorlu koşullarına dayanacak şekilde tasarlanmış, elektrostatik ayna yapımı için ideal bir malzeme haline getirir. Alümina seramik ESC, levha taşıma ve işleme sırasında yüksek sıcaklıklara, aşındırıcı ortamlara ve mekanik strese dayanacak şekilde tasarlanmıştır ve yarı iletken cihazların verimini ve kalitesini sağlamada kritik bir rol oynar.

Elektrostatik Aynanın arkasındaki temel prensip, levhayı güvenli bir şekilde yerinde tutmak için kullanılan elektrostatik kuvvettir. Bu kuvvet, seramik malzemenin içine gömülü elektrotlara voltaj uygulanarak üretilir. Elektrostatik alan ile levha yüzeyindeki indüklenen yükler arasındaki etkileşim, levhayı aynanın yüzeyine karşı tutan güçlü bir sıkıştırma kuvveti yaratır. Alümina seramik ESC'nin tasarımı, bu sıkıştırma kuvvetinin levha boyunca eşit şekilde dağıtılmasını sağlayarak işleme sırasında kayma veya hasar riskini en aza indirir.

Elektrostatik Ayna yapımında alümina seramik kullanmanın en önemli avantajlarından biri olağanüstü elektriksel yalıtım özellikleridir. Alüminanın yüksek dielektrik dayanımı, elektrostatik alanın bütünlüğünü korumak için çok önemli olan, elektriksel bozulma riski olmadan yüksek gerilimlerin uygulanmasına olanak tanır. Bu, levhanın oldukça reaktif ortamlara maruz kaldığı ve sıkıştırma kuvvetindeki herhangi bir değişikliğin levhada kusurlara veya hasara yol açabileceği plazma aşındırma veya kimyasal buhar biriktirme gibi işlemlerde özellikle önemlidir.

Alümina seramik, elektriksel özelliklerine ek olarak, yarı iletken işleme sırasında üretilen ısının yönetilmesi için gerekli olan mükemmel termal iletkenlik sergiler. Elektrostatik Chuck'ın ısıyı verimli bir şekilde dağıtma yeteneği, levha boyunca sabit bir sıcaklığın korunmasına yardımcı olur ve bükülmeye veya diğer termal stres biçimlerine yol açabilecek termal değişimleri azaltır. Bu termal stabilite, hafif sıcaklık sapmalarının bile sonucu etkileyebildiği fotolitografi gibi proseslerin hassasiyetini ve tekrarlanabilirliğini sağlamak açısından kritik öneme sahiptir.