ESC Aynası

Semicorex ESC Chuck, yarı iletken üretim ortamlarında yüksek hassasiyet ve tekrarlanabilirlik sağlayarak levhanın konumu üzerinde hassas kontrol sağlamak için elektrostatik kuvvetlerden yararlanır. ESC aynasının tasarımı, sağlam malzeme seçimi ve özelleştirilebilir boyutlarıyla birleştiğinde, onu dağlama, biriktirme ve iyon implantasyonu gibi işlemlerde çok yönlü ve temel bir araç haline getirir.

ESC aynası, aynanın elektrotları ile levha arasına yüksek voltajlı bir elektrostatik alan uygulayarak çalışır ve levhayı yerinde tutan çekici bir kuvvet yaratır. Tipik olarak silikon veya silisyum karbürden yapılan levha, bu kuvvetle sabitlenerek yüksek vakumlu ortamlarda hassas operasyonlara olanak tanır. Bu sistem, kirletici maddelerin girmesine veya levhanın bozulmasına neden olabilecek mekanik sıkıştırma veya vakumlu aynalama ihtiyacını ortadan kaldırır. Üreticiler bir ESC aynası kullanarak hassas üretim süreçleri için daha temiz, daha istikrarlı bir ortam elde edebilir, bu da daha yüksek verim ve daha tutarlı sonuçlara yol açabilir.

ESC teknolojisinin en önemli avantajlarından biri, kuvveti yüzeyi boyunca eşit olarak dağıtırken, levha üzerinde sağlam bir tutuş sağlama yeteneğidir. Bu, özellikle mikron altı hassasiyetin gerekli olduğu işlemlerde, düzgün dağlama veya biriktirme elde etmek için çok önemli olan, levhanın düz ve sabit kalmasını sağlar. ESC aynasının özelleştirilebilir boyutları, standart 200 mm ve 300 mm levhalardan, araştırma ve geliştirmede veya niş yarı iletken cihazların üretiminde kullanılan özel, standart dışı boyutlara kadar farklı boyutlardaki levhaları barındırmasına olanak tanır.

ESC aynasının yapımında kullanılan malzemeler, yarı iletken işlemede tipik olarak bulunan zorlu ortamlarla uyumluluğu sağlayacak şekilde dikkatle seçilmiştir. Yüksek saflıkta seramik alümina, mükemmel elektriksel yalıtım özellikleri, termal kararlılıkları ve plazma korozyonuna karşı dirençleri nedeniyle kullanılır. Bu özellikler aynanın hem yüksek sıcaklık hem de yüksek vakum koşullarında etkili bir şekilde çalışmasına olanak tanıyarak, temiz oda ortamında uzun süreli kullanım için gereken dayanıklılığı ve güvenilirliği sağlar.

Kişiselleştirme, ESC aynalarının bir diğer önemli avantajıdır. Yarı iletken üretim sürecinin özel gereksinimlerine bağlı olarak aynanın boyutları, elektrot konfigürasyonları ve malzeme bileşimleri, işlenen ekipmanın ve levhaların benzersiz ihtiyaçlarını karşılayacak şekilde uyarlanabilir. Uygulamanın plazma aşındırma, kimyasal buhar biriktirme (CVD) veya fiziksel buhar biriktirme (PVD) içermesi fark etmeksizin, ESC aynası performansı optimize edecek ve işlem sırasında levhanın bütünlüğünü koruyacak şekilde tasarlanabilir.