Camsı karbon kaplama keçe

Semicorex camsı karbon kaplama, silikon karbür epitaksiyal reaktörlerinde bir iç yalıtım tabakası olarak hareket eder. Gelişmiş termal ortamlar için tasarlanmış yüksek performanslı bir yalıtım malzemesidir. Bu ürün, hafif ve mükemmel termal yalıtım özellikleri nedeniyle üstün çözümler sunarak tipik yarı iletken yüksek sıcaklık üretim zorluklarının üstesinden gelir.grafit keçe, camsı bir karbon kaplama tarafından verilen yüzey bütünlüğü ve kimyasal inertlik ile birleştiğinde.

Temel malzeme yüksek bir saflıktırgrafit keçeDüşük termal iletkenliği yüksek sıcaklık stabilitesi ve hafif ağırlığı seçti. Normal grafit keçe genellikle hassas epitaksiyal sistemlerde işlem ortamını kirletebilen yüksek sıcaklıklarda yüzey lifi dökülmesine ve parçacık üretimine sahiptir. Bu sorunu azaltmak için, grafit keçe yüzeyi, bir camsı karbon tabakası ile eşit olarak kaplanmıştır-kimyasal inertliği, düşük gaz geçirgenliği ve olağanüstü termal stabilitesi ile bilinen yoğun, gözeneksiz bir karbon şekli.

Camsı karbon, cam ve seramiklerin özelliklerini birleştiren grafiksiz bir karbondur. Kristalin grafitin aksine, bir inert gaz atmosferinde fenolik reçine, furfuril alkol reçinesi, vb. Gibi polimerize organik öncüllerin yüksek sıcaklıkta sinterlenmesi ile oluşan amorf, yaklaşık% 100 SP2 hibridize bir karbon malzemesidir. Boyunca siyah olduğu ve cama benzer pürüzsüz bir yüzeye sahip olduğu için buna camsı karbon denir.

Camsı karbon kaplama, fırın parçacıklarının üretilmesini ortadan kaldırabilir, kapalı yüzey gözenekleri sağlayabilir, mükemmel demolding özelliklerine sahip olabilir ve geçirgenliği azaltabilir, bu malzemeyi yarı iletken endüstrisindeki sürekli döküm kalıpları ve ürünler için çok uygun hale getirebilir. Bu malzeme, yarı iletken endüstrisinde, özellikle tek kristal silikon çekme ekipmanı bileşenleri, epitaksiyal büyüme bileşenleri, sürekli döküm kalıpları, cam sızdırmazlık jigleri vb.

Camsı karbon, inert gaz veya vakumda 3000 ° C'ye kadar yüksek sıcaklık direncine sahiptir ve diğer tüm seramik ve metalik yüksek sıcaklık malzemelerinin aksine, camsı karbonun mukavemeti 2700K'ya kadar artan sıcaklık ile artar ve kırılgan hale gelmez ve son derece yüksek termal şok direncine sahiptir, bu nedenle kısa ısıtma ve soğutma süreleri sorun değildir. Ek olarak, camsı karbon düşük kütle, düşük ısı emilimine ve düşük termal genleşmeye sahiptir, bu nedenle neredeyse tüm yüksek sıcaklık uygulamaları için uygundur.

Camsı karbon kaplama, grafit keçe yüzey gözeneklerinin sızdırmazlığında önemli bir rol oynar ve çalışma sırasında partiküllerin ve karbon tozlarının salınmasını önemli ölçüde azaltır. Bu, özellikle minimal kontaminasyonun bile gofret kalitesini ve cihaz performansını tehlikeye atabileceği SIC epitaksiyal büyüme süreçlerinde kritiktir. Keçe gözenekli yapısını pürüzsüz, sert camsı bir karbon kabuğu ile kapsülleyerek, kaplama reaksiyon odası içinde temiz ve kararlı bir termal ortam sağlar.

Keçe keçe camsı karbon kaplamanın temel avantajları şunları içerir:

Azaltılmış parçacık dökülmesi: Yoğun kaplama, gevşek liflere ve parçacıklara etkili bir şekilde kilitlenir, bu da gofretlerin ve reaktör bileşenlerinin kontaminasyonunu önler.

Yüksek termal stabilite: Hem grafit keçe hem de camsı karbon, inert veya vakum atmosferlerinde 2000 ° C'yi aşan sıcaklıklara dayanabilir, bu da ürünü yüksek sıcaklık SIC işlemleri için ideal hale getirir.

Kimyasal inertlik: Camsı karbon yüzeyi, çoğu asit ve aşındırıcı gaza dirençlidir ve sert koşullar altında yalıtım tabakasının operasyonel ömrünü uzatır.

Geliştirilmiş Proses Tutarlılığı: Minimize partikül üretimi, yüksek kaliteli SIC gofretleri üretmek için gerekli olan daha kararlı ve tekrarlanabilir bir epitaksiyal büyüme ortamına katkıda bulunur.

Camsı karbon kaplama uygulamaları, öncelikle SIC epitaksiyal büyüme fırınlarına kadar uzanır, burada sıcak bölge içinde termal yalıtım tabakası olarak kullanılır. Ürün tipik olarak hem termal koruma hem de temizlik güvencesi sağladığı üst veya alt yalıtım yalıtım istiflerine bir astar malzemesi olarak kurulur.