Grafit yakneleri

Semicorex grafit holdetleri, özellikle kristal büyüme aşamasında yarı iletken üretim sürecinde kritik bileşenlerdir. Bu yüksek performanslı kaplar, czochralski (CZ) işlemi veya şamandıra bölgesi (FZ) tekniği gibi yöntemlerle yüksek saflıkta silikon veya bileşik yarı iletken kristalleri üretmek için gereken aşırı koşullara dayanacak şekilde tasarlanmıştır.

Grafit holdetlerinin önemli bir fonksiyonu, genellikle silikon karbür ve galyum nitrür gibi üçüncü nesil yarı iletken malzemelerin sıklıkla sentezlendiği, tipik olarak 2000 ° C'nin üzerinde son derece yüksek sıcaklıklara dayanmak ve desteklemektir. Yüksek saflıkta grafitten yapılan haçlar, fiziksel ve kimyasal durumlarını bu aşırı seviyelerde tutan yüksek sıcaklıklara karşı mükemmel bir direnç gösterir. Grafit cruces ile iyi termal iletim, sadece ısıyı eşit olarak yapmakla kalmayacak, aynı zamanda kararlı bir sıcaklık alanı da kuracakları anlamına gelir. Bu, eritme ve kristalizasyon işlemleri sırasında önemli bir şekilde devreye girer, çünkü düzgün sıcaklık dağılımı az çok eşdeğer koşullar altında büyüme malzemesine izin verir, böylece kristal kusurları azaltır ve kaliteli yarı iletken kristallere izin verir.

Silikon karbür veya galyum nitrür kristal büyüme işlemlerinde (buhar fazı epitaksi CVD veya fiziksel buhar taşıma PVT gibi), grafit holdetleri hammaddeleri tutmak ve kontrollü bir büyüme ortamı sağlamak için kullanılır. Yolculuğun kimyasal etkisi, yüksek sıcaklıklarda yarı iletken malzeme ile kimyasal olarak reaksiyona girmemesini sağlar, böylece malzemenin yüksek saflığını korur. Aynı zamanda, grafit potasının iyi termal iletkenliği, kristal büyümesi için ideal koşullar sağlayarak, safsızlıkları ve yapısal kusurları azaltarak düzgün bir sıcaklık gradyanı oluşturmaya yardımcı olur.

Grafit hükmünün kimyasal etkisi, yarı iletken malzemelerin saflaştırılmasında önemli bir özelliktir. Yüksek saflıkta grafit malzemesi dış kirliliği izole edebilir ve kirliliklerin erimiş yarı iletken malzemeye girmesini önleyebilir. Grafit potasının yüzeyi, oksidasyon direncini ve korozyon direncini arttırmak için (silikon karbür kaplaması gibi) kaplanabilir, bu da üretim sürecinin yüksek saflığını ve yüksek stabilitesini sağlar.