Grafit Elektrot

Semicorex Grafit Elektrot, elektriksel iletkenliğin, termal kararlılığın ve boyutsal doğruluğun çok önemli olduğu yarı iletken termal uygulamalarda kullanıma yönelik, yüksek saflıkta, hassas şekilde üretilmiş bir grafit bileşenidir. Aslında, bu tür elektrotlar yüksek sıcaklık fırınlarında, epitaksi reaktörlerinde ve ısıl işlem odalarında kullanılarak agresif sıcaklık ve atmosfer koşulları altında kararlı akım iletimini, ısı transferini ve stabiliteyi kolaylaştırır. Semicorex Grafit Elektrotların aşırı saflığı, katı yapısının tekdüzeliği ve yüksek mekanik özellikleri nedeniyle zorlu yarı iletken uygulamalarda ısıtma elemanları olarak güvenilir termal performans sağlayabilirler.

Grafit eletrot, yüksek kaliteli ince taneli grafit malzemeden üretilmiştir; her biri gelişmiş bir ekstrüzyon, yüksek sıcaklıkta karbonizasyon ve grafitizasyon dizisi kullanılarak yapılır. Grafit mikro yapısı yaklaşık olarak sabit elektriksel direnç, yüksek termal iletkenlik ve mekanik stabilite sağlayacak şekilde tasarlanmıştır. Nihai ürün, yüksek güç ortamlarında ve hızlı sıcaklık dalgalanmalarında fiziksel durumu ve düzgün bir akım dağılımını koruyan, yüksek saflıkta bir termal iletkendir.

Ultra Performansgrafit

Grafitimiz üstün performans eşitliğini garanti eder. Öncelikle karbonizasyon işlemi sırasında fırınlarımızda sadece 115 metreküp bulunuyor. Teknik ekibimiz her fırının farklı alanlarındaki grafit ürünlerin sıcaklık alanını takip etmektedir. Başlangıç ​​düşük sıcaklık aşamasında (0-200°C), sıcaklığı ±10°C dahilinde ve yüksek sıcaklıklarda (600°C'nin üzerinde) ±1°C dahilinde kontrol ediyoruz. Yalnızca farklı grafit parçacıkları arasındaki sıcaklık alanını izlemekle kalmıyoruz, aynı zamanda her bir grafit parçasının yüzey ve iç sıcaklığını da izleyerek ±3°C dahilinde kontrol ediyoruz. Her karbonizasyon fırınında 8 sıcaklık noktasını izliyoruz.

İkinci olarak grafitizasyon işlemi sırasında 500 kg'lık bir partiyi örnek alarak 8 sıcaklık noktasını da izliyoruz. Grafitleştirmeden sonra, tekdüzeliği sağlamak için X, Y ve Z eksenleri boyunca 24 noktayı rastgele örnekleyip tahrip edici bir şekilde test ediyoruz. Sektördeki çoğu şirket yalnızca X eksenini veya en fazla XY eksenini test eder; tipik üreticiler yalnızca 6-8 puan, daha iyileri ise 12 puan test eder. 24 noktayı test ediyoruz.

Yarı iletken termal alanda Grafit Elektrot, ısıtma düzeneğinin kritik bir parçasıdır; elektrik akımını ısıtma bölgesine yönlendirir ve oksidasyon, difüzyon, LPCVD veya epitaksi gibi belirli bir süreçte sıcaklığın kontrollü dağılımına izin verir. Grafit Elektrot, 2000°C'yi aşan sıcaklıklarda güvenilir bir operasyonel role sahip olmalı ve bunu oksidasyona, bükülmeye veya ısıtma bölgesini kirletmeye karşı direnç göstererek yapmalıdır.

Semicorex Grafit Elektrotlar, minimum kayıpla etkili güç dağıtımını kolaylaştıran olağanüstü elektrik iletkenliğine sahiptir ve fırında hızlı ve eşit ısı transferine izin veren mükemmel termal iletkenliğe sahiptirler. Düşük termal genleşme ve yüksek mekanik mukavemetin birleşimi, termal döngü sırasında deformasyonu ve çatlamayı azaltır ve uzun hizmet ömrü boyunca stabil davranış sağlar. Her elektrot, temas yüzeyinde tutarlı temas ve ihmal edilebilir elektrik direnci sağlamak için sıkı boyut toleranslarına ve ince yüzey kaplamasına göre işlenir.

Semicorex, yarı iletken proseslerin özel gereksinimlerini göz önünde bulundurarak, her türlü fırın konfigürasyonuna ve güç spesifikasyonuna uyacak özel elektrot tasarımları tasarlayabilir. Farklı çaplar, uzunluklar, bağlantı türleri veya yüzey kaplamaları sunulabilir. Gerektiğinde yüksek oksijenli veya reaktif gazlı ortamlarda oksidasyon direncini ve servis ömrünü desteklemek için SiC veya pirolitik karbon gibi kaplama malzemeleri uygulanabilir.

Yüksek saflıkgrafit malzemeGenellikle %99,999'dan fazla karbon olmak üzere inanılmaz derecede düşük seviyelerde metalik yabancı maddeler (ve gaz halindeki yabancı maddeler) sağlamaya hizmet eder. Bu kadar düşük seviyedeki yabancı maddeler, ısıl işlem sırasında yarı iletken levhaların kirlenmesini önlemeye yardımcı olur. Önemli işleme derinliği ve cilalı yüzey kalitesi ile birleştirilen Semicorex Grafit Elektrotlar, en son teknoloji levha üretim teknolojilerinin hem mekanik hem de kimyasal stabilitesini karşılar.

Difüzyon fırınlarında, epitaksiyel reaktörlerde veya yüksek sıcaklıktaki işleme ekipmanlarında kullanılsa da Semicorex Grafit Elektrot, en zorlu termal ortamlarda eşsiz performans sağlar. Semicorex, yüksek saflığı, hassas geometriyi ve gelişmiş malzeme işlemeyi birleştirerek, yeni nesil yarı iletken üretimi için gerekli olan istikrarlı akım iletimini, tutarlı ısıtmayı ve uzun vadeli operasyonel güvenilirliği sağlayan bir elektrot çözümü sunar.