Yatay Kuvars Gofret Tekneleri

Yatay kuvars gofret teknelerigenellikle yarı iletken levhaları, harici ısıtma cihazlarıyla ısıtılan ısıl işlem ekipmanının fırın tüpleri içinde yatay olarak tutar. Termal oksidasyon, yüksek sıcaklıkta difüzyon, tavlama ve kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemleri gibi zorlu yüksek sıcaklıkta aşındırıcı yarı iletken ısıl işlem işlemlerinde yaygın olarak kullanılırlar.

Semicorex yatay kuvars gofret teknelerinin fonksiyonları

1. Kararlı tutma ve sabitleme

Semicorex yatay kuvars levha tekneleri mükemmel yük taşıma kapasitesine sahiptir ve birden fazla yarı iletken levha için sürekli olarak istikrarlı destek sunabilir. Optimize edilmiş dış tasarımları ve hassas yuva yapıları her biriningofretyatay kuvars levha teknelerine mükemmel şekilde takılır ve sıkı bir şekilde sabitlenir; bu, taşıma ve üretim süreçleri sırasında sallanma, yer değiştirme ve eğilme nedeniyle oluşan levha çiziklerini ve çarpışmaları önemli ölçüde azaltır.

2. Süreç bütünlüğü yardımı

Yatay kuvars levha teknelerinin eşit aralıklı yuva yapısı, yarı iletken levhaların düzenli bir şekilde yerleştirilmesine olanak tanır, böylece yüksek sıcaklık fırınlarında stabil ve düzgün bir gaz akış alanı oluşturulur. Yapısal tasarım, her levha yüzeyinde tutarlı gaz teması ve reaksiyon hızı sağlar, böylece eksik levha oksidasyonu, eşit olmayan ince film birikmesi ve katkı konsantrasyonu sapması gibi eşit olmayan ısıtma ve diferansiyel gaz temasından kaynaklanan çeşitli kusurları etkili bir şekilde azaltır.

3.Uzun ömürlü servis ömrü

Kuvars malzemenin üstün yüksek sıcaklık dayanımı sayesinde Semicorex yatay kuvars gofret tekneleri, deformasyon veya erime olmaksızın 1100-1200°C yüksek sıcaklıklara uzun süre dayanabilir.Kuvarsoksijen, nitrojen ve hidrojen klorür gibi yarı iletken işlemlerde yaygın olarak kullanılan gazlara karşı kimyasal olarak inerttir. Bu olağanüstü kimyasal inertlik, proses gazlarından kaynaklanan korozyon riskini en aza indirebilir, hizmet ömrünü büyük ölçüde uzatabilir ve ekipman değiştirme süresini ve maliyetlerini azaltabilir.