İç Kılavuz Boru

Semicorex İç Kılavuz Borusu hassas bir şekilde tasarlanmışkarbon/karbon (C/C) bileşeniÖzellikle yüksek saflıkta silikon kristallerinin büyütülmesinde ileri düzeyde yüksek sıcaklık termal alan uygulamaları için tasarlanmıştır. Kristal büyütme fırınlarında kritik bir unsur olan bu bileşen, termal değişimin şekillendirilmesinde ve dengelenmesinde merkezi bir rol oynayarak optimum kristal oluşumunu ve tutarlı malzeme kalitesini garanti eder.

Yüksek yoğunluklu karbon fiberle güçlendirilmiş karbon kompozitten üretilen İç Kılavuz Boru, zorlu koşullar altında olağanüstü yapısal bütünlük ve termal stabilite sunar. ≥1,35 g/cm³ yoğunluğu ve ≥110 MPa bükülme mukavemeti ile yüksek sıcaklıklara uzun süre maruz kaldığında bile mekanik sağlamlığını korur. Bu özellikler, termal koşullardaki küçük dalgalanmaların bile kristal tekdüzeliğini ve kusur oranlarını önemli ölçüde etkileyebildiği yarı iletken dereceli silikon üretiminde gereklidir.

Temel İşlevsellik: Hassas Gradyan Kontrolü

C/C İç Kılavuz Borunun birincil rolü hassas bir gradyan sıcaklık alanı oluşturmaktır. Silikon kristali büyütme işlemi sırasında, doğrudan eriyiğin üzerine konumlandırılarak:

Doğrudan Gaz Akışı: İnert argon gazının akışını yönlendirerek silikon oksit (SiO) buharlarının eriyik yüzeyinden verimli bir şekilde uzaklaştırılmasını sağlayarak kristaldeki oksijen kirlenmesini önler.

Termal Koruma: Büyüyen kristali pota duvarlarından gelen doğrudan ısı radyasyonundan koruyarak yüksek hızlı, yüksek kaliteli kristal çekimi için gerekli olan dik eksenel sıcaklık gradyanını oluşturur.

Enerji Verimliliği: Isıyı eritme bölgesinde yoğunlaştırarak ve üst fırın bileşenlerini yalıtarak toplam güç tüketimini önemli ölçüde azaltır.

Teknik Özellikler ve Malzeme Mükemmelliği

İç Kılavuz Borularımız yüksek yoğunlukluKarbon/Karbon kompozitleriGeleneksel grafite üstün bir alternatif sağlar. Malzeme özellikleri yarı iletken vakum fırınlarının zorlu koşulları için optimize edilmiştir:

Yoğunluk: ≥ 1,35 g/cm³

Eğilme Dayanımı: ≥ 110 MPa

Termal Genleşme Katsayısı (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Isı İletkenliği (Oda Sıcaklığı): ≤ 10 W/(m·K)

Endüstri

Endüstri daha büyük levha boyutlarına (300 mm ve 450 mm) doğru ilerledikçe, termal alana yönelik talepler katlanarak artıyor. İç Kılavuz Borularımız başlıca CZ fırın markalarıyla uyumludur ve geometri ve kaplama açısından özelleştirilebilir.