2025-01-21
Şu anda, silikon karbür üçüncü nesil yarı iletkenlere hakimdir. Silikon karbür cihazlarının maliyet yapısında, substratlar%47'dir ve epitaksi%23'e katkıda bulunur. Birlikte, bu iki bileşen toplam üretim maliyetinin yaklaşık% 70'ini temsil ederek silikon karbür cihaz üretim zincirinde çok önemlidir. Sonuç olarak, silikon karbür tek kristallerinin verim oranının iyileştirilmesi - ve böylece substratların maliyetini azaltmak - SIC cihaz üretiminde en kritik zorluklardan biri haline gelir.
Yüksek kaliteli, yüksek verimli hazırlamak içinsilikon karbür substratları, üretim sıcaklıklarını doğru bir şekilde kontrol etmek için daha iyi termal alan malzemelerine ihtiyaç vardır. Şu anda kullanılan termal alan pota kiti, esas olarak sıcaklık korurken erimiş karbon ve silikon tozlarını ısıtmak için kullanılan yüksek saflıkta bir grafit yapısından oluşmaktadır. Grafit malzemeleri yüksek spesifik mukavemet ve modül, mükemmel termal şok direnci ve iyi korozyon direnci sergilerken, aynı zamanda dikkate değer dezavantajlara sahiptirler: yüksek sıcaklık oksijen ortamlarında oksidasyona eğilimlidirler, amonyaklara iyi dayanamazlar ve kazıma direncine sahip olurlar. Bu sınırlamalar, silikon karbür tek kristallerinin büyümesini ve silikon karbür epitaksiyal gofretlerin üretimini engelleyerek grafit malzemelerin geliştirilmesini ve pratik uygulamalarını kısıtlamaktadır. Sonuç olarak, tantal karbür gibi yüksek sıcaklık kaplamalar çekişiyor.
Tantalum karbür kaplı bileşenlerin avantajları
KullanmaTantal karbür (TAC) kaplamalarkristal kenar kusurları ile ilgili sorunları ele alabilir ve kristal büyümesinin kalitesini artırabilir. Bu yaklaşım "daha hızlı, daha kalın ve daha uzun büyümenin" temel teknik hedefi ile uyumludur. Endüstri araştırması, tantal karbür kaplı grafit hükmünün daha düzgün ısıtma elde edebileceğini ve SIC tek kristal büyümesi için mükemmel süreç kontrolü sağlayabileceğini ve SIC kristallerinin kenarlarında polikristalin oluşum olasılığını önemli ölçüde azaltabileceğini göstermektedir. Ayrıca,Tantal karbür kaplamaİki ana fayda sağlar:
1. SIC kusurlarını azaltmak
SIC tek kristallerinde kusurları kontrol etmek için tipik olarak üç temel strateji vardır. Büyüme parametrelerini optimize etmenin ve yüksek kaliteli kaynak malzemelerin (SIC kaynak tozu gibi) kullanılmasının yanı sıra, tantal karbür kaplı grafit holdetlerine geçmek de daha iyi kristal kalitesini destekleyebilir.
2. Grafit hükmünün ömrünü aşmak
SIC kristallerinin maliyeti yüksek kaldı; Grafit sarf malzemeleri bu maliyetin yaklaşık% 30'unu oluşturmaktadır. Grafit bileşenlerinin hizmet ömrünün arttırılması maliyet azaltma için kritik öneme sahiptir. Bir İngiliz araştırma ekibinden elde edilen veriler, tantal karbür kaplamaların grafit bileşenlerinin servis ömrünü%30-50 artırabileceğini düşündürmektedir. Bu bilgiye dayanarak, geleneksel grafitin tantal karbür kaplı grafit ile değiştirilmesi SIC kristallerinin maliyetini%9-15 oranında azaltabilir.
Semicorex yüksek kaliteli sunarTantal karbür kaplıSakatlar, duyucular ve diğer özelleştirilmiş parçalar. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.
İletişim Telefonu # +86-13567891907
E -posta: sales@semicorex.com