Gelişmiş Malzemeler Yarıiletken Fırın Tasarımında 3 Kritik Zorluğu Nasıl Çözüyor

Transistör boyutlarını ve ölçekli güneş hücresi verimliliğini küçülme yarışı, termal işleme ekipmanlarını sınırlarına itmektir. Semicorex'te, yirmi yılı tekrar eden bir ağrı noktasını ele almak için önde gelen yarı iletken ve PV üreticileriyle işbirliği yaparak geçirdik: standart malzemeler aşırı koşullar altında başarısız olduğunda, tüm üretim partileri tehlikeye girebilir.

CVD Kaplamalar: Proses Bileşenleri için Zırh

Silikon karbür (sic) ve tantal karbür (TAC) gibi kimyasal buhar birikimi (CVD) kaplamalar, zorlu ortamlarda bileşen uzun ömürlülüğüdir:

Sic kaplamaAvantajları:

İnert atmosferlerde 1.650 ° C'ye kadar olan sıcaklıklara dayanır

Epitaksiyal büyüme reaktörlerinde partikül kontaminasyonunu azaltır

Grafit duyucuların servis ömrünü 3-5x genişletir

Tac kaplamaDifüzyon bariyerlerinde:

Yolculuklarda erimiş silikon infiltrasyonunu önler (% 99.999 saflık retansiyonu)

Hızlı Termal İşleme (RTP) sırasında gofret çözgüselini en aza indirir

Sıcaklıklar 1600 ° C'yi aştığında: CVD kaplama avantajı

Bu sihir değil - malzeme bilimi. Tescilli CVD işlemimiz, hem SIC hem de TAC kaplamaları atom düzeyinde hassasiyetle yatırarak:

Silikon buharı korozyonuna direnme standart kaplamalardan 3x daha uzun

Karmaşık geometriler arasında <0.5 um kalınlık varyasyonunu koruyun

Termal döngü altında bile kaplama delaminasyonunu ortadan kaldırın

Termal tekdüzelikte sessiz kriz

Kristal büyüme fırınlarında, tutarsız sıcaklık dağılımı 250 bin dolarlık bir silikon külçe hurdaya dönüştürebilir. Maddi yenilikler aracılığıyla:

Yoğunluk dereceli grafit keçe (0.18-0.25g/cm³ gradyan tasarımı)

<% 2 termal genleşme anizotropisi olan karbon-karbon kompozit izolatörleri

... Müşterilerin ulaşmasına yardımcı olduk:

300 mm czochralski sistemlerinde ± 1.5 ° C eksenel sıcaklık homojenliği

Ingot Çatlama Olmadan% 40% Daha Hızlı Soğutma Oranları

Kuvars saflığı neden her zamankinden daha önemli

Katmanlı bir Mems Foundry, dağlama odası astarlarına parçacık kusurlarını izlediğinde, kabarcıksız kaynaşmış kuvars çözümümüz:

Metal kontaminasyonunu% 89 azalttı (ICP-MS analizi)

3 ila 8 ay arasında uzatılmış önleyici bakım aralıkları

<0.1ppb alkali metal içeriği ile% 99.999 başlangıç ​​saflığı elde edildi

Özelliklerin Ötesinde: Uygulama Mühendisliği Önemlidir

Teknik özellikler temel karşılaştırmalar sağlarken, gerçek dünya performansı şunlara bağlıdır:

• Malzeme işlemi kuplajı - Bileşenler belirli kimyalarla nasıl etkileşime girer (örneğin, Cl₂ ve SF₆ plazmalar)

• Arıza Modu Kütüphaneleri - 1.200'den fazla bileşen arıza vakası veritabanımız malzeme seçimini bilgilendirir

• Özel derecelendirme - Parça kesitlerinde grafit gözenekliliğinin/iletkenliğin ayarlanması

Semicorex yüksek kaliteli sunarTantal karbür kaplıVeSilikon karbür kaplıözelleştirilmiş parçalar. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim Telefonu # +86-13567891907

E -posta: sales@semicorex.com