Elektronik sınıf silikon karbür tozu

Üçüncü nesil yarı iletkenlerin temel malzemesi olarak,Silikon Karbür (sic)Mükemmel fiziksel özellikleri nedeniyle yeni enerji araçları, fotovoltaik enerji depolama ve 5G iletişim gibi yüksek teknoloji alanlarında giderek daha önemli bir rol oynamaktadır. Şu anda, elektronik dereceli silikon karbür tozunun sentezi esas olarak geliştirilmiş kendini propage eden yüksek sıcaklık sentez yöntemine (yanma sentez yöntemi) dayanmaktadır. Bu yöntem, harici bir ısı kaynağı (indüksiyon bobini ısıtması gibi) ile birleştirilmiş Si tozu ve C tozunun yanma reaksiyonu yoluyla silikon karbürün etkili bir sentezini elde eder.

Kalitesini etkileyen anahtar süreç parametreleriSic pudrası

1. C/SI oranının etkisi:

  SIC toz sentezinin verimliliği, silikon-karbon (Si/C) oranıyla yakından bağlantılıdır. Genel olarak, 1: 1'lik bir C/Si oranı, daha yüksek bir dönüşüm oranı sağlayarak eksik yanmayı önlemeye yardımcı olur. Bu orandan hafif bir sapma başlangıçta yanma reaksiyonunun dönüşüm oranını artırabilirken, 1.1: 1'lik bir C/Si oranını aşan sorunlara yol açabilir. Fazla karbon, SIC parçacıkları içinde sıkışıp kalabilir, bu da malzemenin saflığını çıkarmayı ve etkilemeyi zorlaştırabilir.

2. Reaksiyon sıcaklığının etkisi:

  Reaksiyon sıcaklığı, SIC tozunun faz bileşimini ve saflığını önemli ölçüde etkiler:

  -≤ 1800 ° C sıcaklıklarda, öncelikle 3C-SIC (β-SIC) üretilir.

  -1800 ° C civarında, β-sic yavaş yavaş a-sic'e dönüşmeye başlar.

  - ≥ 2000 ° C sıcaklıklarında, malzeme neredeyse tamamen a-sic'e dönüştürülür, bu da stabilitesini arttırır.

3. reaksiyon basıncının etkisi

Reaksiyon basıncı, SIC tozunun parçacık boyutu dağılımını ve morfolojisini etkiler. Daha yüksek reaksiyon basıncı, parçacık boyutunu kontrol etmeye ve tozun dağılmasını ve homojenliğini iyileştirmeye yardımcı olur.

4. reaksiyon süresinin etkisi

Reaksiyon süresi, SIC tozunun faz yapısını ve tane boyutunu etkiler: yüksek sıcaklık koşulları altında (2000 ℃ gibi), SIC'nin faz yapısı kademeli olarak 3C-SIC'den 6H-SIC'ye değişecektir; Reaksiyon süresi daha da uzatıldığında, 15R-SIC bile üretilebilir; Ek olarak, uzun süreli yüksek sıcaklık tedavisi, parçacıkların süblimasyonunu ve yeniden büyümesini yoğunlaştıracak ve bu da küçük parçacıkların yavaş yavaş agregaya büyük partiküller oluşturmasına neden olacaktır.

SIC tozu için hazırlık yöntemleri

Hazırlanmasısilikon karbür (sic) tozuÜç ana yöntem olarak kategorize edilebilir: yanma sentez yöntemine ek olarak katı faz, sıvı faz ve gaz fazı.

1. Katı faz yöntemi: karbon termal azaltma

  - Hammaddeler: silikon kaynağı olarak silikon dioksit (Sio₂) ve karbon kaynağı olarak karbon siyahı.

  - İşlem: İki malzeme kesin oranlarda karıştırılır ve yüksek sıcaklıklara ısıtılır, burada SIC tozu üretmek için reaksiyona girerler.

  -Avantajlar: Bu yöntem iyi kurulmuş ve büyük ölçekli üretim için uygundur.

  - Dezavantajlar: Ortaya çıkan tozun saflığını kontrol etmek zor olabilir.

2. Sıvı faz yöntemi: jel-sol yöntemi

  - Prensip: Bu yöntem, tek tip bir çözüm oluşturmak için alkol tuzlarının veya inorganik tuzların çözülmesini içerir. Hidroliz ve polimerizasyon reaksiyonları yoluyla, daha sonra kurutulur ve SIC tozu elde etmek için ısıl işlem görür.

  - Avantajlar: Bu işlem, düzgün bir partikül boyutuna sahip ultra ince SIC tozu verir.

  - Dezavantajlar: Daha karmaşıktır ve daha yüksek üretim maliyetlerine neden olur.

3. Gaz fazı yöntemi: kimyasal buhar birikimi (CVD)

  - Hammaddeler: Silan (SIH₄) ve karbon tetraklorür (CCL₄) gibi gaz öncüleri.

  - Proses: Önceki gazlar kapalı bir odada yayılır ve kimyasal reaksiyonlara tabi tutulur, bu da SIC'nin birikmesine ve oluşumuna neden olur.

  - Avantajlar: Bu yöntemle üretilen SIC tozu yüksek saflıktadır ve üst düzey yarı iletken uygulamalar için uygundur.

  - Dezavantajlar: Ekipman pahalıdır ve üretim süreci karmaşıktır.

Bu yöntemler çeşitli avantajlar ve dezavantajlar sunar, bu da onları farklı uygulamalar ve üretim ölçekleri için uygun hale getirir.

Semicorex yüksek saflık sunarSilikon karbür tozu. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim Telefonu # +86-13567891907

E -posta: sales@semicorex.com