Odak Halkalarının İşlevi Nedir?

Odak halkaları, yarı iletken aşındırma işlemlerinin tek biçimliliğini ve stabilitesini sağlamak için gerekli bileşenlerdir. Elektrik ve termal alanların hassas kontrolü sayesinde odak halkaları, plazmayı levha yüzeyinde yoğunlaştırarak levha üzerindeki tüm konumlarda tutarlı aşındırma sonuçları sağlar.

Odak halkalarının işlevleri

1. Aşındırma homojenliğini iyileştirin

Aşındırma işleminde odak halkaları plazmayı yüzey üzerinde yoğunlaştırabilir.gofretHem levha kenarı hem de merkez bölgeleri boyunca düzgün plazma yoğunluğunu, iyon bombardıman açısını ve enerji seviyelerini etkili bir şekilde garanti eden yüzey. Plakanın kenarındaki elektrik alanı dağılımını düzelterek aşındırma hızını, kritik boyutu ve kenar etkilerinden kaynaklanan morfoloji değişikliklerini azaltır, böylece tüm levha yüzeyi boyunca aşındırma tutarlılığı sağlar. Odaklama halkası aşırı derecede aşınmışsa veya odak halkası yoksa, plazma levha kenarından yayılacak ve sonuçta kenar ve merkez bölgeler arasındaki çizgi genişliğinde uyumsuz sapmalara neden olacaktır.

2. Elektrostatik aynayı koruyun

Odak halkaları genellikle elektrostatik aynaların levha taşıyıcı yüzeyinin dışına monte edilir ve doğrudan plazma bombardımanına ve korozyona maruz kalır. Bu kurulum kurulumu, dağlama işlemi sırasında plazmanın elektrostatik aynalarla temas etmesini önleyen fiziksel bir bariyer görevi görür ve böylece plazma hasarı riskini önemli ölçüde azaltır. Odak halkaları ayrıca aşındırma işlemi sırasında oluşan yan ürünlerin elektrostatik aynalara yapışmasını önleyebilir, böylece ayna kirlenmesi ve tıkanmanın neden olduğu performans düşüşünü önleyebilir. Bu, elektrostatik aynaların bakım döngüsünü ve ömrünü büyük ölçüde uzatarak ekipman bakımı ve değiştirme maliyetlerini azaltır.

Odak halkaları genellikle yüksek saflıkta yapılırkuvars, silikonVesilisyum karbürmalzemeler. Mükemmel kapsamlı performansları sayesinde silisyum karbür malzemeler giderek en ileri gravür işlemleri için ana seçenek haline geliyor. Çin'de güvenilir bir yarı iletken odak halkası tedarikçisi olan Semicorex, yüksek kalite sunarsilisyum karbür odak halkalarıAşındırma ekipmanının farklı gereksinimlerini karşılamak için çeşitli boyutlarda. Semicorex sorularınızı ve satın alımlarınızı istediğiniz zaman memnuniyetle karşılar.