Vakum aynası, bir bağlantı borusu aracılığıyla vakum ekipmanına bağlanır. Vakumlu ayna, levha/ince film malzemesi gibi iş parçasıyla temas ettiğinde, vakum ekipmanı çalışmaya başlar ve vakumlu aynanın içinde negatif bir basınç oluşturur. Atmosfer basıncı altında iş parçası vakumlu aynaya sıkı bir şekilde yapışarak işleme olanak sağlar. İşleme tamamlandıktan sonra, vakum ekipmanı çalışmayı durdurur ve vakum aynasını yavaşça gazla doldurarak iş parçasını otomatik olarak aynadan ayırır. Bu, iş parçasının sıkıştırılmasını, işlenmesini ve taşınmasını tamamlar.
Yarı iletken fotolitografinin temel amacı, milyarlarca transistör devre desenini nanometre düzeyinde hassasiyetle bir plaka üzerine "basmaktır". "Fotolitografinin" özü, yüksek derecede ışığa duyarlı fotorezisti ışınlamak için bir ışık kaynağı kullanmak ve devreyi aşındıran kimyasal bir reaksiyona neden olmaktır. Ancak ışık kaynağı levhayı ışınladığında kaçınılmaz olarak levha taşıyıcısı görevi gören elektrostatik aynanın üzerinde de parlar. Ortaya çıkan yansıyan ikincil ışık, fotolitografi sürecine müdahale edebilir, istenmeyen alanların açığa çıkmasına neden olabilir ve devrelere zarar verebilir. Bu nedenle, vakum aynasının siyah yüzeyi yansımayı en aza indirerek fotolitografi sisteminin hassasiyet gereksinimlerini karşılar. Bu kabiliyetine dayanarak, siyah alümina yalnızca elektrostatik aynalarda değil aynı zamanda "ışığı bastıran" senaryolarda da yaygın olarak kullanılabilir. Yapay zeka çağının ortaya çıkışı, optik iletişim uygulamalarında önemli gelişmelere olanak sağladı ve siyah alümina substratlar, optoelektronik cihazların ve ışık yayan elemanların ambalajlarında sıklıkla görülüyor.
Siyah alümina seramikesas olarak Al2O3'ten yapılır, renklendirici olarak geçiş metal oksitleri ve sinterleme yardımcıları eklenir ve belirli bir sıcaklıkta sinterlenir. Renklendirici, bu tür seramiğin son rengini belirleyen çok önemli bir bileşendir. Vakumlu aynalar için renklendiriciler seçerken, vakumlu aynanın renk derecesi, mekanik mukavemeti, gözenekliliği ve gözenek boyutunun sağlanması önemlidir.
Şu anda hem yurt içinde hem de yurt dışında renklendirici olarak yaygın olarak kullanılan geçiş metali oksitleri arasında Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 ve MnO2 yer alır; Fe2O3, CoO, NiO ve MnO2 en yaygın olanlardır. Alümina yüksek sıcaklıklarda daha az uçucu olduğundan, geçiş metali oksitler ise tam tersi olduğundan uçuculukları sıcaklıkla birlikte artar. Bu oksitler, yüksek sıcaklıkta sinterleme sırasında uçuculuklarını azaltan spinel tipi bileşikler oluşturur. Bu nedenle, geçiş metali oksitlerin buharlaşmasını bastırmak için, bunların daha düşük sıcaklıklarda spinel tipi bileşikler halinde birleşmesine izin verecek uygun işlem koşulları seçilmelidir.
Semicorex gümrük sunuyorgözenekli seramik vakumlu ayna. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.
İletişim telefonu numarası +86-13567891907
E-posta: sales@semicorex.com