SiC Tekne Nedir ve Çeşitli Üretim Süreçleri Nelerdir?

1. Farklı Üretim SüreçleriSiC Tekne

(1) Bir katman kaplamakSiC filmiiiiGrafit yüzeyindekristal teknelerCVD aracılığıyla

Bu tip teknelerde tek parça halinde işlenmiş bir grafit çekirdeğe sahiptir. Fakat,grafit gözeneklidirve parçacık oluşumuna yatkındır, bu da bir uygulamanın yapılmasını gerektirir.SiC filmiiii kaplamayüzeyinde. Grafit gövde ile termal genleşme katsayısı (CTE) arasındaki uyumsuzluk nedeniyleSiC filmiiiibirden fazla ısıtma ve soğutma döngüsünden sonra kaplamanın soyulması muhtemeldir ve bu da parçacık kirliliğine yol açar. Bu tekneler en ucuz olanlardır ve yaklaşık bir yıllık kullanım ömrüne sahiptirler.

(2) Bir katman kaplamakSiC filmiiiiyeniden kristalleştirildiğindeSiC kristal tekneler

Yeniden kristalleştirildiSiC tekneleraynı zamanda gözeneklidir ve kolayca parçacık oluşturabilir. Bu nedenle, yeniden kristalleştirilmiş maddenin bireysel bileşenleriSiC teknelerönceden şekillendirilmeli, sinterlenmeli ve daha sonra ayrı olarak işlenmelidir. Daha sonra bileşenler Si macunu kullanılarak yüksek sıcaklıklarda birbirine bağlanır. Tek bir teknede birleştirildiğinde,SiC filmiiiiCVD aracılığıyla uygulanır. Bu yeniden kristalleştirilmişSiC teknesiEn uzun üretim sürecine sahiptir ve maliyetlidir, ancak yüzeyCVD kaplamaömrü yaklaşık üç yıl olduğundan hasar görebilir.

(3)MonolitikSiC kristal tekneler

Bunlarteknelertamamen SiC malzemeden oluşmaktadır. SiC tozunun kalıplanması ve yekpare bir tekne şeklinde sinterlenmesi gerekir. Son derece maliyetlidirler, çok dayanıklıdırlar ve parçacık oluşturma olasılıkları daha düşüktür. Bununla birlikte, bu tekneler %10-15 oranında serbest silikon içerir; bu silikon, florin ve klorin neden olduğu erozyona karşı hassastır ve partikül kirliliğine yol açar.

2. Neden Kuru Temizleme Önerilmiyor?

Özetle,SiC teknelerile kaplanmışCVD aracılığıyla SiC filmi, yüzey kaplaması kuru temizleme sırasında soyulmaya eğilimlidir ve bu da parçacık kirliliğine neden olur. Monolitik içinSiC teknelerAz miktarda serbest silikon içeren flor veya klor içeren gazlara maruz kalma, erozyona ve partikül oluşumuna yol açarak kirlenmeye neden olabilir.**