Yüksek Saflıkta Kuvars: Yarı İletken Endüstrisinin Vazgeçilmez Bir Malzemesi

Yüksek saflıkta kuvars olağanüstü fiziksel ve kimyasal özelliklere sahiptir. Doğal kristal yapısı, şekli ve kafes varyasyonları, yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci, aşınma direnci, düşük termal genleşme katsayısı, yüksek yalıtım, piezoelektrik etkiler, rezonans etkileri ve benzersiz optik özellikler gibi olağanüstü özelliklere katkıda bulunur. Bu nitelikler onu stratejik ve temel endüstrilerin gelişimi için yeri doldurulamaz bir temel malzeme haline getiriyor.

Yüksek saflıkta kuvarsın uygulanması, yarı iletkenler, fotovoltaikler, optik fiberler ve elektrikli ışık kaynakları dahil olmak üzere çeşitli alanları kapsamaktadır. Bunlar arasında yarı iletken endüstrisi, kullanımının %50'sini oluşturan önemli bir paya sahiptir.

Yarı iletken üretiminin kalbinde, sektördeki en yüksek katma değerli segmenti temsil eden çip üretimi yatıyor. Çip üretimi öncelikle dört aşamadan oluşur: tek kristal büyütme, levha işleme ve imalat, entegre devre (IC) üretimi ve paketleme. Özellikle malzeme gereksinimleri açısından en kritik, karmaşık ve zorlu aşamalar silikon levha üretimi ve levha işlemedir.

Olağanüstü termal stabilitesi, asit direnci, düşük termal genleşmesi ve mükemmel spektral geçirgenliği ile yüksek saflıkta kuvars malzemeler, yarı iletken endüstrisinin taşıyıcı malzemelerdeki alkali metal ve ağır metal içeriğine ilişkin katı gereksinimlerini mükemmel şekilde karşılar. Üretim süreci, levhalar, halkalar, plakalar, flanşlar, kazınmış tekneler, difüzyon fırın tüpleri ve temizleme tankları dahil olmak üzere önemli miktarda yüksek kaliteli kuvars bileşenleri gerektirir.

Yarı iletken hazırlamanın çeşitli aşamalarında kullanılan yüksek saflıkta kuvars

Silikon Gofret İmalatında Uygulama

Kuvars camın birincil uygulamasısilikon gofret imalatıüretiminde yatıyorkuvars potaları, gofret imalatı için tek kristalli silikon külçelerin yetiştirilmesinde kullanılan Czochralski işlemi (CZ) için gereklidir. Ayrıca kuvars temizleme kaplarından da yararlanılmaktadır.

Semicorex Erimiş Kuvars Pota

Gofret İşleme Uygulaması

Gofret işleme sırasında çeşitli işlemleroksidasyon, epitaksi, litografi, dağlama, difüzyon, kimyasal buhar biriktirme (CVD), iyon implantasyonu ve cilalama silikon levhalar üzerinde gerçekleştirilir. Saflığı, yüksek sıcaklık direnci, düşük termal genleşmesi ve korozyon direnci nedeniyle yüksek saflıkta kuvars cam bu işlemlerde çok önemli bir rol oynar.

1)Difüzyon ve Oksidasyon: Kuvars cam difüzyon tüplerikuvars flanşlarla birlikte bu işlemlerde yaygın olarak kullanılmaktadır. Diğer önemli bileşenler şunları içerir:kuvars fırın tüpleri(taşıma içinkuvars teknelerfırının içinde ve dışında), kuvars tekneler (silikon plakaları taşımak için) ve kuvars tekne rafları. Bunlar arasında,kuvars cam difüzyon tüplerisaflıkları, yüksek sıcaklıkta deformasyon dirençleri ve entegre devre kalitesini, maliyetini ve üretim verimliliğini doğrudan etkileyen hassas geometrileriyle son derece önemlidir.

Kuvars teknelerve raflar, difüzyon, oksidasyon, CVD ve tavlama işlemleri sırasında silikon levhalar için vazgeçilmez taşıyıcılar olarak hizmet eder. Bu bileşenler çeşitli özelliklerde ve boyutlarda olup, genellikle yatay ve dikey konfigürasyonlarda mevcuttur. Yüksek sıcaklıklarda silikon plakalarla doğrudan temas, bu bileşenler için mükemmel termal stabiliteye ve boyutsal doğruluğa sahip yüksek saflıkta kuvars camın kullanılmasını gerektirir.

Difüzyon Fırını için Semicorex Kuvars Bileşenleri

2)Gravür ve Temizleme:Aşındırma işlemi, korozyona dayanıklı kuvars cam malzemeleri ve bileşenleri gerektirir; bu da kuvars halkaları, kuvars camı reaksiyon odaları ve levha destekleri için önemli bir talebe yol açar. Ek olarak, asit temizleme ve ultrasonik temizleme aşamalarında sırasıyla kuvars cam sepetler ve temizleme tankları kullanılarak malzemenin olağanüstü kimyasal stabilitesinden yararlanılır. Silikonun epitaksiyel büyümesi sırasında kuvars çan kavanozları da kullanılır.

3)Fotolitografi:Yüksek saflıkta kuvars cam, fotolitografi prosesindeki önemli bileşenler olan fotomasklar için birincil alt tabaka malzemesi olarak hizmet eder. Bu alt tabakaların satın alma maliyeti, Qingyi Photomask'ın izahnamesindeki verilere göre, fotoğraf maskelerinin toplam ham madde maliyetinin %90'ını oluşturur. LCD'lerin, yarı iletkenlerin ve diğer elektronik cihazların üretimi sırasında devre modellerini aktarmak için yüksek hassasiyetli araçlar olarak fotomasklar, nihai ürünün hassasiyetini ve kalitesini doğrudan etkiler. Bu, fotomask substratları için temel malzeme olarak ultra yüksek saflıkta sentetik kuvars cam külçelerin kullanılmasını gerektirir.

Sonuç olarak, yüksek saflıkta kuvarsın sergilediği özelliklerin benzersiz birleşimi, yarı iletken endüstrisinde vazgeçilmez bir malzeme olarak konumunu güçlendirmiştir. Teknoloji ilerledikçe ve minyatürleştirme ve performans talepleri arttıkça, yüksek kaliteli kuvars malzemelerine olan güvenin de artması ve elektroniğin geleceğini şekillendirmedeki önemli rolünün daha da sağlamlaşması bekleniyor.**

Semicorex, deneyimli bir üretici ve tedarikçi olarak Yarı İletken ve Fotovoltaik endüstrisi için Yüksek Saflıkta Kuvars malzemeleri sağlar. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim telefonu numarası +86-13567891907

E-posta: sales@semicorex.com