Elektrostatik Ayna (ESC) Nedir?

Yarı iletken üretiminde dağlama işleminin hassasiyeti ve stabilitesi çok önemlidir. Yüksek kaliteli gravür elde etmede kritik faktörlerden biri, işlem sırasında plakaların tepsi üzerinde mükemmel şekilde düz durmasını sağlamaktır. Herhangi bir sapma, düzensiz iyon bombardımanına yol açarak, istenmeyen açılara ve aşındırma oranlarında değişikliklere neden olabilir. Bu zorlukların üstesinden gelmek için mühendisler şunları geliştirdi:Elektrostatik Aynalar (ESC'ler)Aşındırma kalitesini ve stabilitesini önemli ölçüde geliştiren. Bu makale ESC'lerin tasarımını ve işlevselliğini ele alıyor ve tek bir önemli hususa odaklanıyor: levha yapışmasının ardındaki elektrostatik prensipler.

Elektrostatik Gofret Yapışma

Arkasındaki prensipESC'nin bir levhayı güvenli bir şekilde tutma yeteneği elektrostatik tasarımında yatmaktadır. Kullanılan iki temel elektrot konfigürasyonu vardır.ESCs: tek elektrotlu ve çift elektrotlu tasarımlar.

Tek Elektrot Tasarımı: Bu tasarımda elektrotun tamamı elektrot boyunca eşit şekilde yayılır.ESCyüzey. Etkili olmasına rağmen orta seviyede yapışma kuvveti ve alan bütünlüğü sağlar.

Çift Elektrot Tasarımı: Ancak çift elektrot tasarımı, daha güçlü ve daha düzgün bir elektrostatik alan oluşturmak için hem pozitif hem de negatif voltajları kullanır. Bu tasarım daha yüksek yapışma kuvveti sunar ve levhanın ESC yüzeyi boyunca sıkı ve eşit bir şekilde tutulmasını sağlar.

Elektrotlara bir DC voltajı uygulandığında, elektrotlar ile levha arasında bir elektrostatik alan oluşturulur. Bu alan yalıtım katmanı boyunca uzanır ve levhanın arka tarafıyla etkileşime girer. Elektrik alanı, levha yüzeyindeki yüklerin yeniden dağıtılmasına veya kutuplaşmasına neden olur. Katkılı silikon plakalar için, serbest yükler elektrik alanının etkisi altında hareket eder; pozitif yükler negatif elektroda doğru hareket eder ve negatif yükler pozitif elektroda doğru hareket eder. Katkısız veya yalıtkan plakalar durumunda, elektrik alanı iç yüklerde hafif bir yer değiştirmeye neden olarak dipoller oluşturur. Ortaya çıkan elektrostatik kuvvet, levhayı aynaya sıkıca yapıştırır. Bu kuvvetin kuvveti Coulomb kanunu ve elektrik alan kuvveti kullanılarak tahmin edilebilir.