Modern Yarı İletken Üretiminde Tavlama Prosesleri

Teknoloji düğümleri küçülmeye devam ettikçe ultra sığ bağlantı noktalarının oluşumu önemli zorluklar ortaya çıkarıyor. Termal tavlama işlemleri dahilHızlı termal tavlama (RTA)ve flaş lambası tavlaması (FLA), difüzyonu en aza indirirken yüksek safsızlık aktivasyon oranlarını koruyan ve optimum cihaz performansını sağlayan hayati tekniklerdir.

1. Ultra Sığ Kavşak Oluşumu:

Teknoloji düğümleri küçüldükçe ultra sığ kavşaklar oluşturmak giderek zorlaşıyor. Hızlı termal tavlama gibi teknikler (RTA) ve flaş lambası tavlaması (FLA), difüzyonu en aza indirirken yüksek safsızlık aktivasyon oranlarına ulaşmak ve böylece optimum cihaz performansını sağlamak için çok önemlidir.

2. Yüksek-k Geçit Dielektriklerinin Modifikasyonu:

Biriktirme sonrası tavlama (PDA), yüksek k kapılı dielektriklerin elektriksel özelliklerini önemli ölçüde artırır. Bu süreç, geçit kaçak akımlarını azaltır ve gelişmiş mantık ve bellek cihazları için hayati önem taşıyan dielektrik sabitlerini artırır.

3. Metal Silisitlerin Oluşumu:

CoSi ve NiSi gibi metal silisitlerin optimizasyonu, temas ve kütle direncinin iyileştirilmesi için gereklidir. Tavlama koşulları üzerinde hassas kontrol, ideal alaşım fazlarının oluşturulmasını kolaylaştırarak genel cihaz verimliliğini artırır.

4. 3D Entegrasyon Teknolojileri:

3D NAND ve 3D DRAM gibi teknolojilerde tavlama işlemlerinin birden fazla katmanda uygulanması gerekmektedir. Hızlı termal teknikler, her katmanın optimum performansa ulaşmasını sağlamada önemli bir rol oynar.

Tavlama, yarı iletken üretiminde kritik öneme sahiptir; sıcaklık, zaman ve termal bütçelerin hassas kontrolü yoluyla kafes hasarı onarımını, safsızlık aktivasyonunu, film modifikasyonunu ve metal silisit oluşumunu mümkün kılar. Teknoloji düğümleri küçüldükçe gelişmiş tavlama yöntemleriRTA, FLA ve lazer sivri tavlama ana akım haline geldi. Geleceğe baktığımızda tavlama süreci, ortaya çıkan malzeme ve cihazların taleplerini karşılamak için yenilikler yapmaya devam edecek.

Semicorex sektör lideri çözümler sunuyortavlama çözümleriyarı iletken cihazlarınızın en yüksek performans standartlarını hassasiyet ve güvenilirlikle karşılamasını sağlar.

Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim telefonu numarası +86-13567891907

E-posta: sales@semicorex.com