Düşük Sıcaklık Plazma Aşındırma Nedir?

Plazma maddenin dördüncü halidir ve hem endüstriyel uygulamalarda hem de doğal olaylarda çok önemli bir rol oynar. Örneğin plazma, yıldırımda bulunur ve çekirdek sıcaklığının 13.500°C'ye ulaştığı güneşin yüzeyinde bol miktarda üretilir. Bu yüksek sıcaklıktaki plazma çoğu endüstriyel üretim prosesi için uygun değildir.

Öte yandan, düşük sıcaklıktaki plazma, kimyasal reaksiyonları hızlandırmak için ısı yerine enerji kullanan, yapay olarak oluşturulmuş bir plazma şeklidir. Sıcaklığı tipik olarak oda sıcaklığından birkaç yüz santigrat dereceye kadar değişir ve bu da onu çeşitli uygulamalar için oldukça etkili kılar.

Yapay Plazma Oluşturma Adımları:

1. Haznedeki Basıncı Azaltın: Boşluktaki basıncı azaltmak için bir vakum pompası kullanarak başlayın. Düşük basınca ulaşmak, plazmayı stabilize etmek ve gaz iyonizasyonunu kolaylaştırmak için gereklidir.

2. Proses Gazını Girin: Belirli proses gazlarını boşluğa enjekte edin. Bu gazlar plazmadaki parçacıkların birincil kaynağı olarak görev yapar.

3. Plazmayı Heyecanlandırın: Gazı iyonize etmek için güç uygulayın ve etkili bir şekilde plazma oluşturun.

4. Plazmayı Devre Dışı Bırakın ve Atmosfer Basıncını Yeniden Sağlayın: İstenilen reaksiyonlar tamamlandıktan sonra plazmayı kapatın ve odayı atmosfer basıncına geri getirin.

Yarı İletken Üretiminde Düşük Sıcaklık Plazmasının Uygulamaları:

Düşük sıcaklıktaki plazma, yarı iletken üretiminde vazgeçilmezdir ve kuru aşındırma, fiziksel buhar biriktirme (PVD), kimyasal buhar biriktirme (CVD), atomik katman biriktirme (ALD), iyon implantasyonu, külleme ve uç nokta tespitinde kritik işlevler sağlar. Çok yönlülüğü ve verimliliği onu sektörde temel bir araç haline getiriyor.

Semicorex teklifleriPlazma aşındırma için yüksek kaliteli çözümler. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim telefonu numarası +86-13567891907

E-posta: sales@semicorex.com