Elektrostatik Chuck'ın (ESC) yapısı

BirElektrostatik Ayna (ESC)aşındırma, biriktirme veya cilalama gibi işlemler sırasında yarı iletken levhaları yerinde tutmak için kullanılan bir cihazdır. Plakayı aynanın yüzeyinde çekmek ve güvenli bir şekilde tutmak için bir elektrostatik alan oluşturarak çalışır, böylece plakanın taşınması sırasında stabilite ve hassas hizalama sağlanır. ESC'ler yarı iletken üretiminde proses doğruluğunu ve levha işleme verimliliğini artırmak için yaygın olarak kullanılmaktadır.

Geleneksel bir resmin gerçek görüntüsüelektrostatik ayna (ESC)şekilde tasvir edilmiştir. Modeller arasındaki temel fark, elektrostatik aynanın yüzeyindeki yalıtım katmanı malzemesinde yatmaktadır. Şekilde koyu renk alüminyum nitrürü, beyaz renk ise alüminyum oksidi temsil etmektedir. Yapısıelektrostatik aynabirkaç bölümden oluşur:

1. **Yalıtım Katmanı**: Bu katman, mükemmel mekanik mukavemeti, yüksek sıcaklık direnci ve iyi termal iletkenliği nedeniyle tipik olarak alüminyum nitrür veya alüminyum oksit seramikten yapılmış levha ile temas halindedir.

2. **İtici Pimi ve He Gaz Deliği**: İtici pimi levhayı aktarmak için tasarlanmıştır. Plaka gravür odasına girdiğinde, ejektör pimi onu desteklemek için yükselir ve ardından plakayı elektrostatik aynanın yüzeyine yerleştirmek için alçalır. İtici pim genellikle içi boş bir yapıya sahiptir ve levhanın soğutulmasına yardımcı olmak için helyum gazının verilmesine olanak tanır.

3. **Arka He Akış Kanalı**: Bu bileşen ısı dağılımını artırır ve levhanın adsorpsiyonunu kolaylaştırır.

4. **Elektrostatik Elektrot**: Bu elektrot, levhayı yerinde tutmak için gerekli elektrostatik kuvveti oluşturan bir elektrik alanı üretir. Tipik olarak elektrot düzlemseldir ve yalıtım malzemesinin içine gömülür veya üzerinde biriktirilir. Yaygın olarak kullanılan iletken malzemeler arasında alüminyum, bakır ve tungsten bulunur.

5. **Dolaşan Soğutma Suyu ve Isıtma Elektrodu**: Bu elemanlar öncelikle elektrostatik aynanın genel sıcaklık kontrolünden sorumludur. Isıtma elektrodu ve dolaşan soğutma suyu, levha için sabit bir sıcaklığı korumak üzere birlikte çalışır. Yalnızca dolaşan soğutma suyuna güvenmek, aşındırma işlemi sırasında üretilen ısının yönetilememesine yol açabilir ve potansiyel olarak işlemin stabilitesinden ödün verebilir.  

Semicorex yüksek kalite sunuyorElektrostatik Ayna(ESC). Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim telefonu numarası +86-13567891907

E-posta: sales@semicorex.com