Silisyum Karbür Gofret Teknesi

Yarı iletken üretiminde oksidasyon, levhanın, bir oksit tabakası oluşturmak üzere levha yüzeyi boyunca oksijenin aktığı yüksek sıcaklıktaki bir ortama yerleştirilmesini içerir. Bu, levhayı kimyasal safsızlıklardan korur, kaçak akımın devreye girmesini önler, iyon implantasyonu sırasında difüzyonu önler ve aşındırma sırasında levhanın kaymasını önleyerek levha yüzeyinde koruyucu bir film oluşturur. Bu adımda kullanılan ekipman bir oksidasyon fırınıdır. Reaksiyon odasının içindeki ana bileşenler arasında bir levha teknesi, taban, fırın astar boruları, iç fırın boruları ve ısı yalıtım bölmeleri bulunur. Yüksek çalışma sıcaklığı nedeniyle reaksiyon odası içindeki bileşenlerin performans gereksinimleri de yüksektir.

The gofret teknesigofret taşıma ve işleme için taşıyıcı olarak kullanılır. Yüksek entegrasyon, yüksek güvenilirlik, anti-statik özellikler, yüksek sıcaklık direnci, aşınma direnci, deformasyona karşı direnç, iyi stabilite ve uzun servis ömrü gibi avantajlara sahip olmalıdır. Plaka oksidasyon sıcaklığı yaklaşık 800°C ila 1300°C arasında olduğundan ve ortamdaki metalik yabancı madde içeriğine yönelik gereksinimler son derece katı olduğundan, levha teknesi gibi temel bileşenlerin yalnızca mükemmel termal, mekanik ve kimyasal özelliklere sahip olması değil aynı zamanda son derece düşük metalik yabancı madde içeriğine sahip olması gerekir. Alt tabakaya bağlı olarak kuvars levha tekneleri, silisyum karbür seramik levha tekneleri vb. olarak ayrılabilirler. Bununla birlikte, 7 nm'nin altındaki işlem düğümlerinin ilerlemesi ve yüksek sıcaklıktaki işlem pencerelerinin genişletilmesiyle, geleneksel kuvars tekneler, termal stabilite, parçacık kontrolü ve kullanım ömrü yönetimi açısından giderek yetersiz hale geliyor. Silisyum karbür (SiC) tekneler yavaş yavaş geleneksel kuvars çözümlerinin yerini alıyor.

1. Yarı İletken Üretimi

Oksidasyon, difüzyon, kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve iyon implantasyonu gibi yüksek sıcaklıkta çip üretimi süreçlerinde, silikon levhaları desteklemek için SiC tekneleri kullanılır, böylece levhaların yüksek sıcaklıklarda düz kalmasını sağlar ve kafes yanlış hizalamasını veya termal stresin neden olduğu deformasyonu önler, böylece talaş hassasiyetini ve performansını garanti eder.

2. Fotovoltaik Endüstrisi

Silisyum karbür seramikler mükemmel mekanik mukavemete, termal stabiliteye, yüksek sıcaklık direncine, oksidasyon direncine, termal şok direncine ve kimyasal korozyon direncine sahiptir ve metalurji, makine, yeni enerji ve yapı malzemeleri kimyasalları gibi popüler alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Performansı aynı zamanda fotovoltaik üretimdeki difüzyon, LPCVD (düşük basınçlı kimyasal buhar biriktirme) ve TOPcon hücreleri için PECVD (plazma kimyasal buhar biriktirme) gibi termal işlemler için de yeterlidir. Tekne destekleri, küçük tekneler ve boru şeklindeki ürünler yapımında kullanılan silisyum karbür seramik malzemeler, geleneksel kuvars malzemelerle karşılaştırıldığında daha yüksek mukavemet, daha iyi termal stabilite sunar ve yüksek sıcaklıklar altında deformasyon olmaz. Ömrü de kuvarsınkinden beş kat daha fazladır, bu da işletme maliyetlerini ve bakım kesintilerinden kaynaklanan enerji kayıplarını önemli ölçüde azaltır. Bu, açık bir maliyet avantajı sağlar ve hammaddeler yaygın olarak bulunur.

3. Üçüncü Nesil Yarı İletken Endüstrisi

Metal-organik kimyasal buhar biriktirme (MOCVD) reaksiyon odalarında, safir substratları desteklemek, amonyak (NH3) gibi aşındırıcı gaz ortamlarına dayanmak, galyum nitrür (GaN) gibi üçüncü nesil yarı iletken malzemelerin epitaksiyel büyümesini desteklemek ve LED çiplerinin ışık verimliliği ve performansını iyileştirmek için silisyum karbür tekneler kullanılır. Silisyum karbür tek kristal büyütmede, silisyum karbür tekneler, silisyum karbür tek kristal büyütme fırınlarında tohum kristal destekleri olarak görev yapar, erimiş silisyumun yüksek sıcaklıktaki aşındırıcı ortamına dayanır, silisyum karbür tek kristallerin büyümesi için istikrarlı destek sağlar ve yüksek kaliteli silisyum karbür tek kristallerin hazırlanmasını teşvik eder.

Semicorex yüksek kaliteli SiC seramik tedarik ediyorgofret tekneleri. Ürünlerimiz üstün termal stabilite, daha uzun hizmet ömrü ve olağanüstü süreç tutarlılığı sağlayacak şekilde tasarlanmıştır. Özelleştirilmiş çözümler veya ek teknik bilgiler için lütfen mühendislik ekibimizle iletişime geçmekten çekinmeyin.

Telefon: +86-13567891907

E-posta: sales@semicorex.com