Semicorex tarafından üretilen PBN Seramik Disk, yüksek sıcaklıklarda ve düşük basınçlarda bor triklorür (BCl3) ve amonyak (NH3) kullanılarak karmaşık bir kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemi yoluyla sentezlenir. Bu sentez yöntemi, olağanüstü saflığa ve yapısal bütünlüğe sahip bir malzemeyle sonuçlanır ve bu da onu yarı iletken endüstrisindeki çeşitli uygulamalar için vazgeçilmez kılar.**
PBN Seramik Diskin en önemli avantajlarından biri dikkat çekici derecede yüksek saflığıdır. Sentez işleminde kullanılan gaz halindeki malzemelerin saflığı (BCl3 + NH3 -> BN + HCl), geleneksel bor nitrür tozlarının saflığını çok aşmaktadır. Sonuç olarak, PBN Seramik Disk %99,99'luk bir saflık seviyesine ulaşır ve toplam safsızlıklar milyonda 100 parçadan (ppm) azdır. Bu olağanüstü saflık, en ufak bir kirlenmenin bile elektronik bileşenlerde kusurlara yol açabileceği yarı iletken üretiminde çok önemlidir. PBN Seramik Disk, böylesine yüksek bir saflığı sağlayarak kirlenme riskini en aza indirir ve böylece yarı iletken cihazların güvenilirliğini ve performansını artırır.
PBN Seramik Diskin üretiminde kullanılan CVD işlemi, ona neredeyse mükemmel katmanlı bir yapı kazandırır. Bu benzersiz yapı, fırın ve vakum sistemlerinde kullanılan bileşenler için son derece faydalı bir özellik olan anizotropik termal iletkenliği kolaylaştırır. Anizotropik termal iletkenlik, PBN Seramik Diskin ısı dağılımını etkili bir şekilde yönetmesine olanak tanır ve diskin yüzeyi boyunca eşit sıcaklık kontrolü sağlar. Bu yetenek, bileşen arızalarına veya verimsizliklere yol açabilecek termal değişimleri önlemek için hassas termal yönetim gerektiren yarı iletken üretim süreçlerinde gereklidir.
Termal dayanıklılık açısından PBN Seramik Disk örnek bir malzeme olarak öne çıkıyor. Vakumlu ortamlarda 1800°C'ye, nitrojende ise 2000°C'ye kadar sıcaklıklara erime noktası göstermeden dayanabilir. Bu olağanüstü termal kararlılık, aşırı sıcaklıkların operasyonun rutin bir parçası olduğu fırın bileşenleri ve eritme kapları için onu ideal bir seçim haline getiriyor. Bu kadar yüksek sıcaklıklarda yapısal bütünlüğü koruyabilme yeteneği, uzun ömürlülük ve güvenilirlik sağlar, sık sık değiştirme ihtiyacını azaltır ve dolayısıyla genel işletme maliyetlerini düşürür.
Kimyasal eylemsizlik PBN Seramik Diskin bir başka özelliğidir. Asitler, alkaliler, organik çözücüler, erimiş metaller ve grafit gibi çok çeşitli maddelerle reaksiyonlara karşı dayanıklıdır. Bu eylemsizlik, reaktif maddelere maruz kalmanın yaygın olduğu yarı iletken üretiminde özellikle avantajlıdır. Reaktif olmayan kalarak PBN Seramik Disk, yarı iletken bileşenlerin bütünlüğünü ve işlevselliğini tehlikeye atabilecek istenmeyen kimyasal etkileşimleri önler.
PBN Seramik Diskin yarı iletken endüstrisindeki uygulamaları çeşitli ve etkilidir. Özellikleri onu çeşitli yüksek sıcaklık ve yüksek saflıktaki ortamlarda kullanım için ideal bir malzeme haline getirir. Örneğin epitaksiyel büyüme süreçlerinde disk, saflığı ve termal iletkenliğinin yüksek kaliteli yarı iletken katmanların üretimini sağladığı biriktirme sistemlerinde çok önemli bir bileşen olarak hizmet eder. Ek olarak, LED'lerin ve diğer optoelektronik cihazların üretiminde PBN Seramik Disk, optimum cihaz performansına ulaşmak için gereken karmaşık süreçleri destekleyen istikrarlı ve güvenilir bir platform sağlar.
Dahası, PBN Seramik Diskin rolü güç elektroniği cihazlarının üretimini de kapsamaktadır. Bu cihazlar genellikle yüksek sıcaklıklarda çalışır ve bu koşullar altında performansı koruyabilecek malzemeler gerektirir. PBN Seramik Diskin mükemmel termal ve kimyasal özellikleri, onu güç elektroniği sistemlerindeki alt tabakalar ve diğer bileşenler için uygun bir seçim haline getirerek bu cihazların verimliliğine ve dayanıklılığına katkıda bulunur.
Bor Nitrür Yapıları