PBN kompozit ısıtıcılar

Semicorex PBN kompozit ısıtıcılar, pirolitik grafitin mükemmel termal iletkenliğini pirolitik bor nitrürün kimyasal inertliği ve elektrik yalıtımıyla birleştirir. Bu ısıtıcılar, yüksek saflıkta biriktirme koşulları altında yüksek kaliteli bir CVD (kimyasal buhar birikimi) işlemi kullanılarak uygulanan çok yüksek saflıkta bir grafit ve PBN'den yapılmıştır. Her bir bireysel başarı tabakası, ultra yüksek saflık ve tutarlı termal özellikler sağlamak için çok aşırı kontrol edilebilirlik ile biriktirilmiştir. Boyunca hızlı ve düzgün ısıtma sağlayan grafit çekirdeği, PBN kapsülü tarafından oksidasyon ve kontaminasyondan korunur; Bu, ısıtıcıyı vakum gaz ortamları ve inert gaz ortamları için ideal hale getirir. Bu PBN ısıtıcılar, MBE (moleküler ışın epitaksisi) reaktörlerinde, CVD reaktörlerinde ve diğer kristal büyüme sistemlerinde kullanılmak üzere tasarlanmıştır.

Pirolitik bor nitrür-pirolitik grafit (PBN-PG) Kompozit Isıtıcı, substrat olarak yüksek iltihaplı PBN kullanan ve düşük basınçlı termal ayrışma kimyasal buhar birikimi (CVD) kullanan bir ısıtıcıdır (10Torr'ın altında) ve iletken Pg'yi kaplamak için yüksek sıcaklık. Bu kompozit ısıtıcının ana bileşenleri pirolitik bor nitrür (PBN) ve pirolitik grafittir (PG). Mükemmel korozyon direnci ve yüksek sıcaklık direnci nedeniyle, esas olarak yarı iletken substrat ısıtması için kullanılır (MBE, MOCVD, püskürtme kaplamasında vb. Kullanılır); süperiletken substrat ısıtma; numune analizi sırasında numune ısıtma; elektron mikroskobu numune ısıtması; metal ısıtma; Metal buharlaşma ısıtma kaynağı, vb.

PBN ısıtıcıları, vakumda 1600 ° C'ye kadar çalışma sıcaklıklarına dayanabilir ve güveneceğiniz metal bazlı alternatifler üzerinde termal şoka dayanma yeteneğine sahip olabilir. Isıtıcının yüzeyi son derece pürüzsüz ve yoğundur ve çalışma sırasında, yarı iletken gofret işleme gibi kontaminasyonun tolere edilemeyeceği uygulamalar için kritik olan önemli ölçüde daha az parçacık üretir.

Kompozit yapı, ısıtıcı yüzeyinde mükemmel termal homojenlik sağlar ve direnç yolları, özel bir ısı dağılımına izin vermek için özelleştirilebilir. Bu tasarım, kullanılmış malzemelerin aynı termal genleşme katsayıları nedeniyle çatlama ve delaminasyon yapmadan işlem sırasında hızlı artış ve bekleme döngüsü olanakları sağlar. Elektrotlar sürekli yüksek akım çalışmasına dayanabilir ve ayrıca vakumda uyumludur.

Semicorex, belirli uygulama ihtiyaçlarını karşılamak için gerektiğinde benzersiz şekiller, boyutlar ve güç gereksinimleri için sınırsız tasarım esnekliği sağlar; İster standart gofret boyutları veya daha karmaşık geometriler için olsun, üretilen her birimde boyutsal doğruluğu ve termal homojenliği garanti ediyoruz.

PBN kompozit ısıtıcılar, aşağıdakiler dahil olmak üzere ultra temiz uygulamalar için mükemmeldir:

• III-V ve II-VI Bileşik Yarıiletken İşleme için MBE Sistemleri
• Optik bileşenler için vakum kaplama sistemleri
• Safir ve sic için kristal büyüme sistemleri
• Araştırma ve geliştirme laboratuvar ortamları için yüksek saflıkta termal işleme.