Pbn haç

Semicorex pirolitik borlu nitrür PBN haçlıları, yarı iletken üretimi, kristal büyüme ve vakum uygulamaları gibi sektörlerde yüksek sıcaklık ve ultra saf süreçlerin titiz taleplerini karşılamak için tasarlanmış hassas mühendislik bileşenleridir. Kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemi ile üretilen PBN haçlıları, üstün saflık, olağanüstü termal stabilite ve olağanüstü kimyasal etkisizlik sunar ve onları gelişmiş malzeme mühendisliğinde tercih edilen malzeme yapar.

Bor nitrür, kuvars ile karşılaştırılabilir bir termal genleşme katsayısına sahip olduğundan, termal iletkenliği ikincisinin 10 katı olduğundan, hızlı sıcaklık değişikliklerinden dolayı çatlama riskini azaltabilen mükemmel termal şok direncine sahiptir ve herhangi bir problem olmadan 20 ~ 1200 ℃'de birkaç kez döngüde bulunabilir. Ek olarak, bor nitrür asitler, alkaliler, cam ve çoğu metal ile reaksiyona girmez ve düşük mekanik mukavemete sahiptir, ancak grafitten biraz daha yüksektir, ancak yüksek sıcaklıklarda yük altında yumuşar ve genel metal işleme makineleri tarafından işlenebilir. Bu nedenle, erime ve buharlaştırma metalleri için çelik döküm için pota, kap, sıvı metal dağıtım borusu ve kalıp olarak kullanılması gerçekten uygundur.

Genellikle hammadde olarak bor içeren gaz (BCL3 veya B2H6) kullanılarak kimyasal buhar birikimi ile yapılır, ancak B2H6 oldukça toksik olduğundan, BCL3 şu anda hammadde olarak kullanılmaktadır. Bor içeren gaz piroliz (1500 ~ 1800 ℃) geçirir ve katı bor nitrür oluşturmak için yüksek sıcaklıkta reaksiyon odasında NH3 ile reaksiyona girer. Reaksiyon sırasında piroliz meydana gelir, buna da denirpirolitik bor nitrürVarlık (yaygın olarak PBN haçları olarak bilinir).

Malzemenin büyüme süreci "düşen kar" a benzer, yani reaksiyonda yetiştirilen altıgen BN kar taneleri sürekli olarak ısıtılmış grafit substrat (çekirdek kalıp) üzerinde yığılır. Zaman geçtikçe, birikim katmanı kalınlaşır ve bir PBN kabuğu oluşturur. Demolding bağımsız, saf bir PBN bileşenidir ve PBN kaplama üzerinde kalır. PBN haçlarının geleneksel sıcak presleme sinterleme işleminden geçmesi gerekmediğinden ve herhangi bir sinterleme maddesi eklemesi gerekmediğinden, çok yüksek bir saflığa (%99.99'dan fazla) sahiptir ve vakum altındaki çalışma sıcaklığı 1800 dereceye kadardır ve atmosfer koruması altındaki çalışma sıcaklığı 2100 ° C'ye (genellikle nitrot veya argona) ulaşabilir. Çoğunlukla buharlaşma/moleküler ışın epitaksisinde (MBE)/GaAs kristal büyümesinde ve diğer amaçlarda kullanılır.