PBN Elektrostatik Ayna

Malzeme ÖzellikleriPBNElektrostatik Ayna

Yüksek Sıcaklık Dayanımı ve Dielektrik Dayanımı

The PBNElektrostatik Chuck, yarı iletken üretim sürecinde çok önemli bir özellik olan olağanüstü yüksek sıcaklık direnciyle ünlüdür. Aynanın yapımında kullanılan malzeme olan Pirolitik Bor Nitrür (PBN), en sık kullanılan seramiklerden daha yüksek bir direnç sergiler; bu, Johnsen-Rahbek (J-R) ayna kuvvetini 1050°C sıcaklıklara kadar korumak için çok önemlidir. Bu yüksek direnç, yüksek dielektrik gücüyle birleştiğinde, yoğun ısı altında bile elektrik arızasının etkili bir şekilde önlenmesini sağlar ve böylece aynanın operasyonel güvenilirliğini artırır.

Termal Eşitlik ve Şok Direnci

PBN'nin 1500°C'yi aşan sıcaklıklarda kimyasal buhar biriktirme yoluyla hazırlanan altıgen kafes yapısı, olağanüstü termal homojenliğe ve şok direncine katkıda bulunur. Yüksek yoğunluklu ısıtma elemanlarıPBNElektrostatik Chuck, 600–800°C sıcaklıklarda %1,1–1,5 oranında iyi bir homojenliğe sahip tutarlı bir levha termal profili elde etmesini sağlar. Üstelik PBN bazlı ayna, olağanüstü termal şok direnci ve daha düşük termal kütle göstererek, çatlama veya katmanlara ayrılma riski olmadan 23°C/sn'lik hızlı bir rampa hızında 600°C'ye ulaşmasına olanak tanır.

Özelleştirilebilir Çok Bölgeli Isıtma

PBN Elektrostatik Ayna, maksimum sıcaklık kontrolüne olanak tanıyan çok bölgeli ısıtma özelliklerine sahip, son derece özelleştirilebilir. Bu düzeydeki kişiselleştirme, her aynanın bireysel müşterilerin özel gereksinimlerini karşılayacak şekilde uyarlanabilmesini sağlar ve çeşitli yarı iletken işleme uygulamaları için esnek bir çözüm sunar.

UygulamalarıPBNElektrostatik Ayna

İyon İmplantasyonu ve Gofret Kullanımı

PBN Elektrostatik Ayna, iyon implantasyon proseslerinde tercih edilen levha işleme aparatıdır. 1000°C'yi aşan sıcaklıklarda levhaları tutabilme yeteneği, onu piyasadaki en çok yönlü elektrostatik aynalardan biri haline getirir. Bu çok yönlülük, yüksek yoğunluklu, çok bölgeli ısıtma elemanları sayesinde levhaları çok dar sıcaklık aralıklarında tutma kapasitesiyle daha da artırılır.

Silisyum Karbür İyon İmplantasyonu

SiC iyon implantasyonunun özel uygulamasında,PBNElektrostatik Chuck, levha ısıtma ve taşıma zorluklarına uygulanabilir bir çözüm sunar. Yüksek ayna kuvveti, yüksek ısıtma gücü, iyi termal homojenlik ve hızlı yanıt gibi çift işlevli yetenekleri, onu SiC iyon implantasyonunun karmaşık gereksinimlerini karşılamak için ideal bir seçim haline getiriyor.

Yarı İletken Üretimi

PBN Elektrostatik Ayna, hassas levha işleme ve sıcaklık kontrolünün gerekli olduğu yarı iletken üretiminde kritik bir rol oynar. Yüksek termal şok direnci ve hızlı sıcaklık artış özellikleri, onu sıkı sıcaklık yönetimi ve hızlı termal döngü gerektiren gelişmiş yarı iletken işlemler için uygun kılar.