PBN ısıtıcısı

Semicorex pirolitik borlu nitrür PBN ısıtıcı, ultra temiz, kimyasal olarak kararlı ve termal olarak verimli malzemelerin gerekli olduğu zorlu uygulamalar için tasarlanmış yüksek saflıkta, yüksek performanslı bir ısıtma bileşenidir. Bir kimyasal buhar birikimi (CVD) işlemi ile üretilen PBN, olağanüstü termal iletkenlik, yüksek sıcaklık direnci ve olağanüstü kimyasal etkisizlik sergiler, bu da yarı iletken işleme, kristal büyüme ve vakum uygulamaları için ideal bir seçimdir.

PBN ısıtıcı, bir substrat olarak yüksek yalıtımlı PBN kullanan ve düşük basınçta (10Torr'ın altında) iletken PG'yi kaplamak için düşük basınçlı termal ayrışma kimyasal buhar birikimi (CVD) kullanan bir ısıtıcıdır. Bu kompozit ısıtıcının ana bileşenleri pirolitik bor nitrür (PBN) ve pirolitik grafittir (PG). Mükemmel korozyon direnci ve yüksek sıcaklık direnci nedeniyle, esas olarak yarı iletken substrat ısıtması için kullanılır (MBE, MOCVD, püskürtme kaplamasında vb. Kullanılır); süperiletken substrat ısıtma; numune analizi sırasında numune ısıtma; elektron mikroskobu numune ısıtması; metal ısıtma; Metal buharlaşma ısıtma kaynağı, vb.

PBN aşındırıcı gazlara inerttir; yüksek saflığa sahiptir (%99.99'dan fazla); Çoğu erimiş metalle ıslanmaz veya reaksiyona girmez (yapışmaz bir tavanın özelliklerine sahiptir ve metal%100 kullanılabilir); İyi yüksek sıcaklık direncine sahiptir (maksimum çalışma sıcaklığı 2000 ℃); iyi yoğunluk; İyi termal şok direnci ve diğer mükemmel özellikler, PBN-PG kompozit ısıtıcıların hazırlanması için ideal bir malzeme haline getirir. PG, bir PBN ısıtıcısında hızla 1600 ℃ (inert bir atmosferde ve vakum altında) kadar ısıtılabilir. Aynı zamanda, PBN'nin iyi termal iletkenliği ile birleştiğinde, ısıtma yüzeyi iyi ısı homojenliğine sahiptir. İlgili endüstrilerin hızlı gelişimi ile PBN-PG kompozit ısıtıcılara olan talep de hızla artmıştır.

PBN ısıtıcılar, belirli tasarım ve entegrasyon gereksinimlerini karşılamak için çeşitli şekillerde ve konfigürasyonlarda üretilebilir. Tipik tasarımlar arasında düzlemsel ısıtıcılar, boru şeklindeki ısıtıcılar ve gömülü veya yüzeye monte edilmiş ısıtma elemanlarına sahip özel geometriler bulunur. Isıtma elemanları genellikle pirolitik grafitten (PG) yapılmıştır ve PBN içinde kapsüllenir, tamamen mühürlü, elektriksel olarak yalıtım ve termal olarak verimli bir yapı sağlar.