PECVD Solar Grafit Tekne

SemicorexPECVD güneş grafit tekneleriyüksek saflıkta hassas bir şekilde üretilmiştirizostatik grafit. Semicorex'in her PECVD güneş grafit teknesi, yüksek sıcaklıktaki plazma ortamlarında istikrarlı performans sağlamak için hassas işleme, boyutsal inceleme ve elektriksel performans testlerinden geçer.

PECVD işlemi sırasında, PECVD güneş grafit botu silikon plakaları PECVD reaksiyon odasına taşır ve RF güç kaynağına bağlı elektrot görevi görür. Bitişik tekne plakaları arasına alternatif bir voltaj uygulandığında bir elektrik alanı oluşturulur. Elektrik alanının etkisi altında reaktif gazlar (silan SiH₄ ve amonyak NH₃ gibi) ışıltılı deşarja uğrar ve plazma oluşturur. Plazmadaki iyonlar ve serbest radikaller öncü gazları ayrıştırarak silikon (Si) ve nitrojen (N) iyonlarını oluşturur. Bu iyonlar birleşerek silikon nitrür (Si₃N₄) molekülleri oluşturur ve bunlar daha sonra ince filmler oluşturmak üzere silikon levhanın yüzeyinde biriktirilir.

1. Olağanüstü termal stabilite

Silikon plakalarınkine yakın bir termal genleşme katsayısına sahip olan SemicorxPECVD güneş grafit teknesiısıtma üzerine ihmal edilebilir boyutsal değişime maruz kalır, bu da levhalarda termal stresin neden olduğu hasarı güvenilir bir şekilde önler.

2. Üstün elektriksel ve termal iletkenlik

Semicorex PECVD güneş grafit tekneleri, RF akımının hızlı iletimini ve düzgün elektrik alanı dağılımını sağlayan mükemmel elektrik iletkenliğine sahiptir; bu, istikrarlı plazma üretimi ve düzgün silikon levha birikmesi için faydalıdır. Ek olarak, üstün termal iletkenliği hızlı soğutma ve ısıtmayı kolaylaştırarak üretim verimliliğini artırırken lokal aşırı ısınmanın biriktirme kalitesini etkilemesini önler.

3. Güçlü kimyasal stabilite

Birinci sınıf malzeme kullanımı sayesinde Semicorex PECVD güneş grafit teknesi reaktif gazlar ve plazma ile reaksiyona daha az eğilimlidir. Bu özellik, grafit teknede korozyon, deformasyon veya yabancı madde birikiminin neden olduğu eşit olmayan elektrik alanı dağılımını önemli ölçüde önler, böylece biriktirme işleminin stabilitesini ve silikon levhaların yüzey kalitesini garanti eder.

4. Üstün mekanik dayanım

Semicorex PECVD solar grafit tekne, üstün mekanik mukavemeti sayesinde yüksek hacimli levha yüklerinin ağırlığını kolaylıkla kaldırabilir. Yükleme ve taşıma sırasında oluşan mekanik strese, kolayca deforme olmadan ve kırılmadan uzun süre dayanabilirler.

5. Mükemmel boyutsal tutarlılık

Semicorex PECVD güneş grafit teknesi, hassas işleme yoluyla tüm bileşenlerde olağanüstü boyutsal doğruluk elde eder. Biriktirme sırasında silikon levhayı sabit bir konumda tutar, bu da düzgün bir biriktirme ve otomatik üretimle uyumluluk sağlar.