Semicorex PFA gofret taşıyıcıları, ultra temiz ortamlarda yarı iletken gofretleri güvenli bir şekilde işlemek ve taşımak için tasarlanmış yüksek saflıkta, kimyasal olarak dirençli çözeltidir. Önde gelen Fabs ve OEM'ler tarafından güvenilen Semicorex, gelişmiş yarı iletken üretiminin gelişen taleplerini karşılamak için tutarlı kalite, hızlı teslim süreleri ve tam özelleştirme ile hassas mühendislik taşıyıcılar sunar.*
Semicorex PFAGofret taşıyıcılarıUltra temiz bir ortamda yarı iletken gofretlerin güvenli kullanım, depolanması ve taşınması için tasarlanmış yüksek performanslı taşıyıcılardır. Gelişmiş yarı iletkenlerin üretimi, PFA gofret taşıyıcılarının, final testine kadar fabrikasyon sırasında gofretlerin bütünlüğünden ve temizliğinden eşsiz kimyasal direnç, termal stabilite ve parçacık kontrolü sunmasını sağlar.
Yeni PFA'dan yapılan bu gofret taşıyıcıları, genellikle temizlik ve aşınma gofretlerinde kullanılan güçlü asitler, bazlar ve çözücüler gibi sert kimyasallara karşı büyük direnç gösterir. PFA’nın çok düşük iyon süzme ve dışa kalma özellikleri, küçük miktarlarda kirletici maddelerin bile cihaz verimlerini etkileyebileceği önemli temiz oda görevleri için tercih edilen malzeme haline getirir.
PFA gofret taşıyıcıları temiz odalarda yapılır ve Sınıf 1 (ISO Sınıf 3) temiz oda standartlarıyla çalışır. PFA'nın pürüzsüz, yapışmaz yüzeyi, parçacık oluşumunu ve yapışmasını en aza indirir ve kalıntılardan veya partiküllerden kontaminasyonu önler. Ek olarak, PFA’nın hidrofobik doğası kapsamlı durulama ve hızlı kurutmayı kolaylaştırır, bu da ıslak işleme aşamalarında çapraz kontaminasyon riskini daha da azaltır.
Her PFA gofret taşıyıcı, hareket ve tutma sırasında gofretlerin güvenli ve hatta desteklenmesini sağlamak için tam olarak yapılır. Yivli yuvalar, gofretlerin az temas etmesi, stresi azaltmasına ve gofretlerin kenarlarında yontulmasına yardımcı olur. Taşıyıcılar, 100 mm, 150 mm, 200 mm ve 300 mm çapları içeren çeşitli boyutlarda gofretlere uyacak şekilde birçok şekilde gelir. İsteğe bağlı üstler ve sıkı kilitleme yolları, mallara şok, titreşim ve çevreye maruz kalmaya karşı ekstra güvenlik sağlar.
PFA’nın 260 ° C'ye kadar mükemmel termal direnci nedeniyle, difüzyon, oksidasyon ve kimyasal buhar birikimi CVD gibi yüksek sıcaklık işlemleriyle uyumludur. Taşıyıcı, tekrarlanan termal döngü altında yapısal bütünlüğünü korur ve bu nedenle hem parti hem de otomatik işleme ortamları için uygundur.
PFA gofret taşıyıcıları gofret temizliği, ıslak aşındırma, fotolitografi CMP ve IC imalatında diğer ön uç ve arka uç işlemlerinde geniş uygulamalara sahiptir. Sağlam tasarımları ve saflıkları, onları katı kontaminasyon kontrol protokolleri gerektiren FABS, Ar -Ge laboratuvarlarında ve OEM ekipmanlarında kullanım için ideal hale getirir.
ÖzelleştirilmişPFA gofret taşıyıcılarıRobotik kullanım, palet sistemleri ve dikey/yatay taşıma dahil olmak üzere belirli otomasyon gereksinimlerini karşılamak için geliştirilebilir. Taşıyıcılar, standart gofret taşıma ekipmanı ve yarı iletken üretim araçlarıyla tamamen uyumludur.