Ürün Açıklaması

Semicorex kuvars fırın tüpü, gofret tekneleri, Silikon tek kristal büyümesi için kuvars potalarının tümü yüksek saflıkta yapılmıştırkuvars malzemesil. Kuvars yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır; yüksek saflıkta kuvars, levha imalatında önemli bir sarf malzemesidir. Yarı iletken alanında kuvars parçaların ana hedef pazarı, levha imalatında difüzyon ve aşındırma işlemidir ve iki ana kategoriye ayrılabilir: yüksek sıcaklık parçaları ve düşük sıcaklık parçaları.

1. Yüksek sıcaklık parçaları kuvars fırın tüpü, gofret teknesi, tekne tutucusu vb.'dir. Yüksek sıcaklık ortamında Silikon gofret ile doğrudan veya dolaylı olarak temas etmeleri gerekir, esas olarak ısıl işlemle üretilen erimiş kuvars cam malzemeden yapılmıştır.

1. Yüksek sıcaklık dayanımı. Kuvars camı yaklaşık 1730°C'lik bir yumuşama noktasına sahiptir ve 1150°C'de uzun süre kullanılabilir, kısa süreli maksimum sıcaklık 1450°C'ye ulaşır.

Yüksek sıcaklık bölgesindeki bileşenler daha hızlı tüketilir, ancak bunlar genellikle çok katmanlı sistemlerde (birden fazla silikon plakayı tutan bir taşıyıcı) kullanılırken, düşük sıcaklık bölgesindeki bileşenler daha yavaş tüketilir, ancak tekli plaka sistemlerinde (bir silikon plakayı tutan bir taşıyıcı) kullanılır; bu nedenle her ikisinin de genel pazar büyüklüğü nispeten benzerdir.

Fırın, kuvars fırın tüpü, reaktör ve birkaç ısıtıcıdan oluşan, levhaların yüksek sıcaklıkta ısıtma işlemine tabi tutulduğu alandır; yarı iletken işlemede difüzyon, oksidasyon, RTP işlemlerinde yaygın olarak uygulanır. Fırın esas olarak yatay ve dikey tiplere ayrılmıştır:. Yatay bir fırında, levhalar bir kuvars tekneye yerleştirilir ve bu tekne de bir SiC taşıyıcı üzerine yerleştirilir. Önde ve arkada da uyarlanabilir bölmeler bulunur. Taşıyıcı kuvars fırın tüpüne itilir ve levhalar sabit sıcaklık bölgesinde reaksiyona girer. Dikey bir fırında, levhalar bir kuvars kulesinin üzerine yerleştirilir ve daha sonra işlenmek üzere yavaş yavaş kuvars fırın tüpüne kaldırılır.

Yukarıdaki işlemlerde yer alan yüksek sıcaklıklar nedeniyle, kuvars fırın tüpünün tekrarlanan ve uzun süreli kullanım sonrasında ciddi deformasyonunu ve çökmesini önlemek için, üretim sırasında deformasyona ve çökmeye karşı dayanıklı ve uzun servis ömrüne sahip bir kuvars fırın tüpü kullanılmalıdır.

İşte avantajlarıkuvarsfırın tüpü:

1. Yüksek sıcaklık dayanımı. Kuvars camı yaklaşık 1730°C'lik bir yumuşama noktasına sahiptir ve 1150°C'de uzun süre kullanılabilir, kısa süreli maksimum sıcaklık 1450°C'ye ulaşır.

2. Korozyon direnci. Yüksek saflıkta kuvars, hidroflorik asit dışında diğer asidik maddelerle neredeyse hiç kimyasal reaksiyona girmez. Yüksek sıcaklıklarda sülfürik asit, nitrik asit, hidroklorik asit, kral suyu, nötr tuzlar, karbon ve sülfürden kaynaklanan korozyona dayanabilir. Asit direnci seramiğin 30 katı, paslanmaz çeliğin 150 katıdır. Özellikle yüksek sıcaklıklarda kimyasal stabilitesi diğer mühendislik malzemeleriyle karşılaştırılamaz.

3. İyi termal stabilite. Yüksek saflıkta kuvars, son derece düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir ve ciddi sıcaklık değişikliklerine dayanabilir. Yüksek saflıkta kuvarsın yaklaşık 1100°C'ye ısıtılması ve ardından oda sıcaklığındaki suya batırılması, parçalanmasına neden olmaz.

4. İyi ışık iletim performansı. Yüksek saflıkta kuvars, ultraviyoleden kızılötesine kadar tüm spektrumda iyi bir ışık iletim performansına sahiptir. Görünür ışık geçirgenliği %93'ün üzerinde olup ultraviyole spektrumunda maksimum geçirgenlik %80'in üzerine çıkabilmektedir.

5. İyi elektrik yalıtım performansı. Yüksek saflıkta kuvarsın direnci sıradan kuvars camının on bin katıdır, bu da onu mükemmel bir elektrik yalıtım malzemesi haline getirir ve yüksek sıcaklıklarda bile iyi elektriksel özelliklere sahiptir.