Katı yalıtım

Semicorex rijit yalıtım, benzersiz montaj yapısı, yüksek direnç, kıvılcım önleme ve iyi termal yalıtım performansı ile SIC epitaksiyal işlemi için özel olarak tasarlanmıştır. Rijit yalıtım, premium kısa seramik liflerinden yapılmış yüksek performanslı bir termal bariyerdir. Sert keçe bir yapıya tasarlanan bu rijit yalıtım malzemesi, mükemmel mekanik mukavemeti üstün termal yalıtım özellikleri ile birleştirerek yarı iletken üretim ortamları içindeki zorlu koşullar için idealdir.

Yarı iletken dereceli silikon ve silikon karbürün genellikle tek kristal silikon çekme fırınları ve silikon karbür tek kristal büyüme fırınları gibi belirli cihazlar kullanılarak yüksek sıcaklık bir ortamda hazırlanması gerekir ve hazırlık ortamı için daha katı gereksinimler vardır. Örneğin, hazırlık sıcaklığının bakımı ve dış safsızlık parazitinin azaltılması. Bu nedenle, yüksek saflıkta karbon fiberden dokunmuş bir termal yalıtım ortaya çıktı ve kolay kalıplama avantajları, kırılması kolay değil, güçlü termal yalıtım performansı ve düşük safsızlık içeriği, yarı iletkenlerin doğumundan önce gerçek bir "sıcak giysiler" haline geldi.

Pan bazlı karbon fiber keçe ve viskoz bazlı karbon fiber keçe hammaddesi olarak keçe kullanılarak, rijit yalıtım, ıslatma, bağlanma, kürleme, ısıl işlem ve işleme gibi işlemlerle hazırlanır. Toz metalurjisi endüstriyel fırınları, vakum sinterleme fırınları, fotovoltaik tek kristal fırınlar, polikristalin fırınlar ve yarı iletken kristal büyüme fırınları gibi yüksek sıcaklık ekipmanlarında yaygın olarak kullanılmaktadır. İyi basınç direncine ve mükemmel termal yalıtım performansına sahiptir. Yumuşak keçe ile karşılaştırıldığında, sert yalıtım kolay kurulum, kararlı boyut, düşük termal yalıtım zayıflaması ve uzun servis ömrü avantajlarına sahiptir.