Semicorex yarı iletken dereceli kuvars difüzyon tüpleri, yarı iletken levha üretimi için temiz ve stabil bir reaksiyon alanı sağlamayı amaçlayan temel kuvars bileşenleridir. Kapsamlı ve kanıtlanmış üretim yetenekleriyle Semicorex, değerli müşterilerimize son derece uyumlu, özel tasarımlı yarı iletken sınıfı kuvars difüzyon tüpleri sağlayabilir.
Kuvars teknelergenellikle yüksek sıcaklıkta, sert kimyasal korozyon çalışma koşullarında kullanılır. Operasyon sırasında yarı iletken plakalar kuvars tekneye yerleştirilir ve kuvars difüzyon tüpüne yerleştirilir. Difüzyon tüpü gerekli sıcaklığa ulaştığında (birkaç yüz ila birkaç bin santigrat derece), proses gazları (örneğin, O₂, N₂, H₂, Ar) ve katkı gazları (örneğin, POCl₃, BBr₃), yarı iletken levhalar üzerinde oksidasyon, difüzyon ve tavlamayı gerçekleştirmek için gaz portları aracılığıyla kuvars difüzyon tüpüne verilir. Ek olarak, difüzyon tekdüzeliğini ve doğruluğunu geliştirmek için bazı difüzyon işlemlerinin düşük basınçlı bir ortamda gerçekleştirilmesi gerekir.
Gelişmiş yarı iletken üretim süreçlerinde, bu süreçlerde yapılacak en ufak bir hata veya eksiklik, sonraki süreçlerin başarısız olmasına yol açabilmektedir. Bu nedenle yarı iletken imalatının önemli bir parçası olan kuvars difüzyon tüplerinin kalitesi oldukça önemlidir ve yarı iletken cihazların verimini ve performansını doğrudan etkiler.
Semicorex yarı iletken dereceli kuvars difüzyon tüpleri yüksek kaliteli malzemelerden titizlikle üretilmiştir.yarı iletken dereceli kuvarsmalzeme. Aşağıda spesifik parametreleri verilmiştir:
Parametreler müşteri gereksinimlerine göre özelleştirilebilir.
Deneyimli işleme teknolojimize ve güvenilir malzeme seçimimize güvenen Semicorex yarı iletken sınıfıkuvars difüzyon tüplerizorlu çalışma koşullarında üstün performans sergileyin:
Semicorex yarı iletken dereceli kuvars difüzyon tüpleri, olağanüstü yüksek sıcaklık direnci sunar; bu da bunların herhangi bir deformasyon veya hasar olmadan 1200 ° C'ye kadar yüksek sıcaklıktaki ortamlarda kararlı bir şekilde çalışmasını sağlar.
Olağanüstü termal genleşme katsayısına sahip olan Semicorex yarı iletken dereceli kuvars difüzyon tüpleri, hızlı ısıtma veya soğutma sırasında kolayca çatlamadan veya deforme olmadan termal strese dayanabilir.
Semicorex yarı iletken dereceli kuvars difüzyon tüpleri, yüksek sıcaklıktaki, zorlu aşındırıcı ortamlarda üstün kimyasal eylemsizlik sağlar. Bu performans, proses gazları ile reaksiyona girerek oluşan kirletici maddelerin levha kalitesini etkilemesini büyük ölçüde önler.