SiC kaplama, kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemi yoluyla suseptör üzerinde ince bir tabakadır. Silisyum karbür malzeme, silikona göre, 10 kat daha fazla arıza elektrik alanı kuvveti, 3 kat bant aralığı dahil olmak üzere, malzemeye yüksek sıcaklık ve kimyasal direnç, mükemmel aşınma direnci ve termal iletkenlik sağlayan bir dizi avantaj sağlar.
Semicorex özelleştirilmiş hizmet sağlar, daha uzun süre dayanan bileşenlerle yenilik yapmanıza, çevrim sürelerini azaltmanıza ve verimi artırmanıza yardımcı olur.
SiC kaplamanın birçok benzersiz avantajı vardır
Yüksek Sıcaklık Dayanımı: CVD SiC kaplı suseptör, önemli bir termal bozulmaya uğramadan 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklara dayanabilir.
Kimyasal Direnç: Silisyum karbür kaplama, asitler, alkaliler ve organik solventler de dahil olmak üzere çok çeşitli kimyasallara karşı mükemmel direnç sağlar.
Aşınma Direnci: SiC kaplama, malzemeye mükemmel aşınma direnci sağlayarak onu yüksek aşınma ve yıpranma içeren uygulamalar için uygun hale getirir.
Isı İletkenliği: CVD SiC kaplama, malzemeye yüksek ısı iletkenliği sağlar ve bu da onu verimli ısı transferi gerektiren yüksek sıcaklık uygulamalarında kullanıma uygun hale getirir.
Yüksek Mukavemet ve Sertlik: Silisyum karbür kaplı askı malzemesi, malzemeye yüksek mukavemet ve sertlik kazandırarak onu yüksek mekanik mukavemet gerektiren uygulamalar için uygun hale getirir.
SiC kaplama çeşitli uygulamalarda kullanılır
LED Üretimi: CVD SiC kaplı askı, yüksek ısı iletkenliği ve kimyasal direnci nedeniyle mavi ve yeşil LED, UV LED ve derin UV LED dahil olmak üzere çeşitli LED türlerinin işlenmiş üretiminde kullanılmaktadır.
Mobil iletişim: CVD SiC kaplı suseptör, GaN-on-SiC epitaksiyel işlemini tamamlamak için HEMT'nin çok önemli bir parçasıdır.
Yarı İletken İşleme: CVD SiC kaplı suseptör, yarı iletken endüstrisinde levha işleme ve epitaksiyel büyüme dahil olmak üzere çeşitli uygulamalar için kullanılır.
SiC kaplı grafit bileşenler
Silisyum Karbür Kaplama (SiC) grafit ile yapılan kaplama, CVD yöntemiyle belirli yüksek yoğunluklu grafit derecelerine uygulanır, böylece yüksek sıcaklıktaki fırında, inert bir atmosferde 3000 °C'nin üzerinde, vakumda 2200°C'de çalışabilir. .
Malzemenin özel özellikleri ve düşük kütlesi, hızlı ısıtma oranlarına, eşit sıcaklık dağılımına ve kontrolde olağanüstü hassasiyete olanak tanır.
Semicorex SiC Kaplamanın malzeme verileri
Tipik özellikler |
Birimler |
Değerler |
Yapı |
|
FCC β fazı |
Oryantasyon |
Kesir (%) |
111 tercih edildi |
Yığın yoğunluğu |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Termal genleşme 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
Sonuç CVD SiC kaplı tutucu, bir tutucunun ve silisyum karbürün özelliklerini birleştiren kompozit bir malzemedir. Bu malzeme, yüksek sıcaklık ve kimyasal direnç, mükemmel aşınma direnci, yüksek termal iletkenlik, yüksek mukavemet ve sertlik gibi benzersiz özelliklere sahiptir. Bu özellikler onu yarı iletken işleme, kimyasal işleme, ısıl işlem, güneş pili üretimi ve LED üretimi dahil olmak üzere çeşitli yüksek sıcaklık uygulamaları için çekici bir malzeme haline getirmektedir.
Semicorex'in RTP Grafit Taşıyıcı Plakası, epitaksiyel büyüme ve levha işleme işlemleri de dahil olmak üzere yarı iletken levha işleme uygulamaları için mükemmel bir çözümdür. Ürünümüz, epitaksi suseptörlerin yüksek ısı ve korozyon direnciyle biriktirme ortamına maruz kalmasını sağlayarak üstün ısı direnci ve termal tekdüzelik sunacak şekilde tasarlanmıştır.
Devamını okuTalep GönderSemicorex RTP SiC Kaplama Taşıyıcı üstün ısı direnci ve termal tekdüzelik sunarak yarı iletken levha işleme uygulamaları için mükemmel çözüm haline gelir. Yüksek kaliteli SiC kaplı grafiti ile bu ürün, epitaksiyel büyüme için en zorlu biriktirme ortamına dayanacak şekilde tasarlanmıştır. Yüksek termal iletkenlik ve mükemmel ısı dağıtım özellikleri, RTA, RTP veya sert kimyasal temizlik için güvenilir performans sağlar.
Devamını okuTalep GönderSemicorex RTP/RTA SiC Kaplama Taşıyıcısı, biriktirme ortamının en zorlu koşullarına dayanacak şekilde tasarlanmıştır. Yüksek ısı ve korozyon direncine sahip bu ürün, epitaksiyel büyüme için optimum performansı sağlayacak şekilde tasarlanmıştır. SiC kaplı taşıyıcı, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahip olup RTA, RTP veya sert kimyasal temizleme için güvenilir performans sağlar.
Devamını okuTalep GönderMOCVD için Semicorex SiC Grafit RTP Taşıyıcı Plaka, üstün ısı direnci ve termal tekdüzelik sunarak onu yarı iletken levha işleme uygulamaları için mükemmel bir çözüm haline getirir. Yüksek kaliteli SiC kaplı grafit içeren bu ürün, epitaksiyel büyüme için en zorlu biriktirme ortamına dayanacak şekilde tasarlanmıştır. Yüksek termal iletkenlik ve mükemmel ısı dağıtım özellikleri, RTA, RTP veya sert kimyasal temizlik için güvenilir performans sağlar.
Devamını okuTalep GönderEpitaksiyel Büyüme için Semicorex SiC Kaplamalı RTP Taşıyıcı Plaka, yarı iletken levha işleme uygulamaları için mükemmel çözümdür. MOCVD tarafından grafit, seramik vb. yüzeyinde işlenen yüksek kaliteli karbon grafit tutucuları ve kuvars potaları ile bu ürün, levha işleme ve epitaksiyel büyüme işleme için idealdir. SiC kaplamalı taşıyıcı, yüksek termal iletkenlik ve mükemmel ısı dağıtım özellikleri sağlayarak onu RTA, RTP veya sert kimyasal temizlik için güvenilir bir seçim haline getirir.
Devamını okuTalep GönderSemicorex, Çin'deki Silisyum Karbür Kaplamalı Grafit Süseptörlerin büyük ölçekli üreticisi ve tedarikçisidir. Semicorex grafit tutucu, Çin'de yüksek ısı ve korozyon direncine sahip epitaksi ekipmanı için özel olarak tasarlanmıştır. RTP RTA SiC Kaplamalı Taşıyıcımız iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Devamını okuTalep Gönder