TaC kaplama grafiti, yüksek saflıkta bir grafit alt tabakanın yüzeyinin, özel bir Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) işlemiyle ince bir tantal karbür tabakasıyla kaplanmasıyla oluşturulur.
Tantal karbür (TaC), tantal ve karbondan oluşan bir bileşiktir. Metalik elektrik iletkenliğine ve son derece yüksek bir erime noktasına sahiptir; bu da onu gücü, sertliği, ısı ve aşınma direnciyle bilinen refrakter bir seramik malzeme haline getirir. Tantal Karbürlerin erime noktası saflığa bağlı olarak yaklaşık 3880°C'ye ulaşır ve ikili bileşikler arasında en yüksek erime noktalarından birine sahiptir. Bu, MOCVD ve LPE gibi bileşik yarı iletken epitaksiyel işlemlerde kullanılan performans yeteneklerini yüksek sıcaklık taleplerinin aştığı durumlarda onu çekici bir alternatif haline getirir.
Semicorex TaC Kaplamanın malzeme verileri
Projeler |
Parametreler |
Yoğunluk |
14,3 (gram/cm³) |
Emissivite |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Sertlik (HK) |
2000 |
Direnç (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Termal Kararlılık |
<2500°C |
Grafit Boyut Değişikliği |
-10~-20um (referans değeri) |
Kaplama Kalınlığı |
≥20um tipik değer (35um±10um) |
|
|
Yukarıdakiler tipik değerlerdir |
|
Semicorex TaC Kaplamalı Gözenekli grafit, yarı iletken işlemede gelişmiş, yüksek saflıkta bir malzemedir. Bu önemli ekipman parçası, tek kristal SiC büyümesi sürecinde çok önemli bir rol oynar. Semicorex, rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sunmaya kendini adamıştır; Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Devamını okuTalep GönderProfesyonel üretim olarak size TaC Kaplamalı Halkalar sunmak istiyoruz. Yarı iletken ekipmanlar için son teknoloji ürünü bir çözüm olan CVD Tac Kaplamalı Halka ile tanışın. Bu son teknoloji ürünü ürün, olağanüstü dayanıklılık ve aşınma ve yıpranmaya karşı direnç sağlayan gelişmiş bir kimyasal buhar biriktirme (CVD) kaplamasına sahiptir.
Devamını okuTalep GönderYarı iletken ekipman üreticileri ve en yüksek düzeyde kalite ve performans isteyen kullanıcılar için mükemmel çözüm olan CVD Tac kaplamalı potayla tanışın. Potalarımız, korozyona ve aşınmaya karşı üstün direnç sağlayan son teknoloji ürünü CVD Tac (tantal karbür) katmanla kaplanmıştır ve bu da onları çeşitli yarı iletken uygulamalarda kullanım için ideal kılar.
Devamını okuTalep Gönder