Teflon kasetleri

Semicorex Teflon kasetleri, saflık, kimyasal direnç ve termal stabilitenin gerekli olduğu zorlu kimyasal ortamlarda kullanım için özel olarak tasarlanmış yüksek performanslı gofret taşıyıcılarıdır. Yüksek saflıkta politetrafloroetilen (PTFE) 'den yapılmış bu kasetler, yarı iletken üretim, ıslak aşındırma, kimyasal temizlik ve yüksek agresif kimyasallara maruz kalmanın rutin olduğu diğer uygulamalarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Reaktif olmayan doğaları, silikon gofretler, cam paneller ve diğer hassas bileşenler gibi hassas substratları işlemek için ideal hale getirir.

Litografi, dağlama ve iyon implantasyonu gibi çeşitli yarı iletken üretim süreçlerinde, kasetler farklı cihazlar arasında gofret taşımada ve aktarmada rol oynar. Farklı proses ekipmanı, gofret taşıyıcılarının doğru bir şekilde alınabilmesini ve yerleştirilmesini sağlamak için kasetler için farklı arayüz gereksinimleri olabilir.

Malzeme ve tasarım perspektifinden bakıldığında, ısıya dayanıklı, mükemmel mekanik özelliklere, boyutsal stabiliteye sahip ve dayanıklı, anti-statik, düşük tuhaf, düşük yağış ve geri dönüştürülebilir olan malzemeler genellikle kullanılır. Farklı gofret boyutları, işlem düğümleri ve işlemler farklı malzemeler kullanır. Genel malzemeler PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP, vb.

Teflon kasetleri, hidrofluorik asit, nitrik asit, sülfürik asit ve diğer güçlü korozerler kullanan ortamlarda üstün kimyasal direnç sunar. Polipropilen veya paslanmaz çelik gibi geleneksel malzemelerin aksine, PTFE bozulmaz; şişmez; Sert kimyasal banyolarda hiçbir madde yok. Bu nedenle performans uzun süreler boyunca garanti edilir ve bu nedenle kasetlerin yüksek verimli üretim hatları ve ultra temiz ortamlar için güvenilirliği. Sağlamlığı, daha düşük bakım ihtiyaçları ve değiştirme sıklığı anlamına gelir, böylece uzun vadeli işletme maliyetlerini azaltır.

Teflon kasetleri çok yüksek termal stabilite gösterir. Kriyojenik ve yüksek sıcaklık süreçleri için geçerli olan sıcaklıklara -200 ° C ila +260 ° C arasında kolayca dayanabilirler. Isıtmalı kurutma odalarına veya soğuk kimyasal banyolara yerleştirilen kasetler, yapısal güçlerini kaybetmez; Çözülmezler veya çatlamazlar, gofretlerin işleme sırasında güvenli bir şekilde tutulmasını sağlarlar. Bu sıcaklık esnekliği, yarı iletken ve MEMS üretimi için kritik olan işleme ve homojenliğe önemli ölçüde katkıda bulunur.

Teflon kasetlerinin eşit derecede önemli bir özelliği, inert, yapışmaz yüzeyidir. PTFE, doğal olarak parçacıkların ve kimyasal kalıntıların adsorpsiyonuna izin vermez, bu nedenle temiz oda ortamlarında kontaminasyon risklerini azaltır. Bu, kolay durulamaya ve hızlı, böylece daha temiz sonuçlar ve daha hızlı döngü süreleri sonucuna izin veren pürüzsüz bir yüzey kaplaması ile birleştirilmelidir. Kusurların mikroskobik kirleticilerden bile neden olabileceği yarı iletken işlemede, bu temizlik ve kimyasal inertlik seviyesi zorunludur.

Her kaset, hareketli ve sıvıya yerleştirilirken sabit gofret hizalamasını ve aralığı garanti ederek sıkı boyutta toleranslara doğru doğru yapılır. Kolayca tasarlanmış formları, kimyasal döviz kurlarını hızlandıran ve gofret yüzeyinde temizleme veya dağlama homojenliğini geliştiren hızlı kimyasal akış ve drenajlara yardımcı olur.  Kasetler, belirli substrat boyutlarına, yuva sayımlarına ve taşıma gereksinimlerine uyacak özelleştirme seçenekleri ile 4 inç, 6 inç ve 8 inçlik gofretler için standart boyutlarda mevcuttur.

Otomatik ıslak banklar ve robotik gofret taşıma sistemleri ile uyumluluk için tasarlanan Teflon kasetleri, çoğu yarı iletken üretim kurulumuna kolayca entegre olur. Sağlam yapıları ve temiz oda sınıfı kaplamaları, ISO sertifikalı ortamların katı taleplerini karşılıyor. Tüm kasetler kapsamlı bir incelemeye uğrar ve gelişmiş mikroelektronik üretimi için gereken temizlik standartlarını karşılamak için ultra saf suda önceden temizlenir. Kalite güvence protokollerine uyumu sağlamak için uygunluk ve tam malzeme izlenebilirlik sertifikaları sağlanabilir.