Dikey Kuvars Gofret Tekneleri

Yarı iletken üretim süreçlerinde reaksiyon odasındaki yarı iletken bileşenlerin katı yüksek temizlik standartlarını karşılaması gerekir. Aksi takdirde, mikro ölçekli veya nano ölçekli yabancı maddeler veya kirletici maddeler bile yarı iletken cihazların performansında ve veriminde geri dönüşü olmayan hasarlara neden olabilir.

Kuvars gofret tekneleriGenellikle difüzyon fırınları, oksidasyon fırınları ve tavlama fırınları gibi yüksek sıcaklık reaksiyon odalarına dikey olarak monte edilirler ve burada levhalarla doğrudan temas halinde olmaları gerekir. Semicorex'in dikey kuvars gofret tekneleri, bu yüksek temizlik gereksinimlerini karşılamak için yüksek saflıkta kuvars malzemelerden üretilmiştir. Bu akıllı malzeme seçimi, üretim süreci sırasında levha teknelerinden salınan reaktanların neden olduğu levha kirlenmesini etkili bir şekilde önler.

Yarı iletken üretiminde, levha teknelerinin yalnızca tekrarlanan ısıtma-soğutma döngülerinden geçmesi değil, aynı zamanda proses gazlarının uzun süre korozyonuna dayanması da gerekir. Semicorex'in dikey kuvarsıgofrettekneler, doğal termal stabiliteleri nedeniyle, sürekli termal döngünün zorlu çalışma koşullarında olağanüstü boyutsal stabilite sergiler. Bu üstün termal özellikler, dikey kuvars levha teknelerinin hassas bozulması veya yapısal deformasyonundan kaynaklanan levha deformasyonunu ve hasarını önemli ölçüde önler. Üstelik dikey kuvars gofret tekneleri yüksek kimyasal inertlikleri sayesinde oksijen, su buharı, hidrojen klorür ve amonyak gibi aşındırıcı gazlarla reaksiyona karşı dayanıklı olabiliyor. Bu özellik, kimyasal korozyonun dikey kuvars levha teknelerinin yapısal bütünlüğünü tehlikeye atması olasılığını büyük ölçüde azaltır.

Yukarıda bahsedilen performans avantajlarına ek olarak Semicorex'in dikey kuvars levha tekneleri boyutsal doğruluk ve yapısal tasarım açısından da mükemmel rekabet gücü sergiliyor. Her bir parçası hassas işleme teknikleri ile üretilmektedir. Bu hassas boyut kontrolü, levhanın doğru konumlandırılmasını sağlayarak yükleme, işleme ve boşaltma sırasında yer değiştirme veya çarpışmalardan kaynaklanan çizikleri ve çatlakları en aza indirir.