15" Kuvars Çan Kavanoz

Semicorex 15" Kuvars Sırça Kavanoz, verimi en üst düzeye çıkarmak için termal homojenlik ve malzeme saflığının gerekli olduğu orta ve büyük ölçekli toplu işleme için yüksek performanslı bir çözüm sağlayarak bu zorlukları karşılamak üzere tasarlanmıştır. Yarı iletken ve ince film endüstrilerinde, işlem odasının bütünlüğü son derece önemlidir. Plaka boyutları arttıkça ve düğümler küçüldükçe, temiz, stabil ve kimyasal olarak inert bir ortam gereksinimi tartışılamaz hale gelir.

1. Malzeme Bilimi: Erimiş Silikanın Saflığı

Sırça kavanozumuzun temeli yüksek saflıktatırerimiş silika (Kuvars). Standart camın aksine kuvars neredeyse tamamen SiO2'den oluşur ve yarı iletken üretimi için hayati önem taşıyan benzersiz özellikler sağlar:

Ultra Düşük Kirlilik: Kuvarsımız, metalik iz elementleri (Al, Fe, Na ve K gibi) milyarda bir (ppb) seviyesine kadar en aza indirecek şekilde işlenir. Bu, yüksek sıcaklık döngüleri sırasında yabancı maddelerin levhaya yayılmasını önleyerek cihazların elektriksel bütünlüğünü sağlar.

Üstün Termal Şok Direnci: Kuvars sıfıra yakın bir Termal Genleşme Katsayısına (CTE) sahiptir. Bu, 15" Kuvars Sırça Kavanozun, yüksek verimli reaktörler için kritik bir gereklilik olan kırılma veya yapısal yorgunluk riski olmaksızın hızlı sıcaklık artışına ve sönmeye dayanabilmesini sağlar.

Mükemmel Kimyasal İnertlik: Kuvars çoğu asitlere (hidroflorik asit hariç) ve aşındırıcı proses gazlarına karşı oldukça dirençlidir, agresif aşındırma veya biriktirme döngüleri sırasında haznenin bozulmamasını veya gaz çıkarmamasını sağlar.

2. Hassas mühendislik ve optik netlik

15" Kuvars Çan Kavanoz, toplu gofret işleme amacıyla maksimum hacim ve optimum gaz akış dinamiği sağlar. Kavanoz, gaz için bir giriş sağlamak veya yukarıdaki resimde gösterildiği gibi kavanozdan bir vakum yoluyla gazın çıkarılmasına yardımcı olmak için en uygun şekilde tasarlanmış dikey bir bacaya (boyun olarak da bilinir) sahiptir.

Optik Şeffaflık - Yüksek düzeyde iletimkuvars malzemesiSpektrumun ultraviyole, görünür ve kızılötesi bölgelerindeki dalga boylarını yaymak, gerçek zamanlı işlemenin yanı sıra hızlı termal işleme (RTP) için harici lamba ısıtıcılarının kullanılmasına da olanak tanır.

Güçlendirilmiş Sızdırmazlık Yüzeyleri - Kavanozun boynu, reaktör taban plakası ile kavanoz arasında hermetik (hava geçirmez) ve vakum geçirmez bir arayüz sağlayan, özel olarak geliştirilmiş opak beyaz bir contaya (aynı zamanda zemin bağlantısı olarak da adlandırılır) sahiptir.

Stresi Gidermek için Tavlama - 15" Kuvars Sırça Kavanozun tamamı, kavanozun üflenmesi veya şekillendirilmesi gibi mekanik işlemlerle kavanozun üzerine yerleştirilen iç mekanik gerilimi azaltmak için sıkı bir termal tavlama işleminden geçer, bu nedenle kavanozun vakum yükü altına yerleştirildiğinde kendiliğinden arızalanma ihtimali önemli ölçüde azalır.

3. Yarı İletken Fabrikasındaki Kritik Uygulamalar

15" Kuvars Sırça Kavanozumuz özellikle aşağıdaki yüksek değerli süreçlere entegrasyon için tasarlanmıştır:

Silikon Epitaksi: Yüksek kaliteli tek kristalli silikon katmanların büyütülmesi için şeffaf, reaktif olmayan bir kap sağlar.

Plazmayla Geliştirilmiş CVD (PECVD): Yüksek dielektrik gücünü korurken aşındırıcı plazma ortamına dayanır.

Difüzyon ve Oksidasyon: Kapı oksitlerinin oluşumu ve katkı maddesi girişi için temiz, yüksek ısılı bir oda görevi görür.

Optik Fiber Preform Üretimi: Özel cam üretiminde silika katmanlarının yüksek saflıkta biriktirilmesi için idealdir.

Semicorex'te her bir cam kavanozu hassas laboratuvar ekipmanının bir parçası olarak ele alıyoruz. Sürecimiz şunları içerir: Doğrulanmış elektronik kaliteyle sıkı malzeme tedarikikuvarskülçeler; geleneksel cam üfleme becerilerini CNC kontrollü taşlama ve cilalamayla birleştiren gelişmiş üretim; ve artık gerilimi tespit etmek için polarize ışık ve hassas boyut kontrolleri için lazer interferometri kullanılarak kapsamlı inceleme.