Yarı İletken Kuvars Çan Kavanozu

Semicorex Yarı İletken Kuvars Çan Kavanozu tipik olarak olağanüstü saflığı, yüksek sıcaklık direnci ve düşük termal genleşme özellikleriyle bilinen bir malzeme olan sentetik erimiş kuvarstan üretilir. Bu, bölmenin yarı iletken üretim sürecine kirletici maddeler veya yabancı maddeler sokmamasını sağlar.

Yarı İletken Kuvars Çan Kavanozu, yarı iletken levhaları veya alt tabakaları barındırmak için düz veya hafif kavisli bir tabana sahip, tipik olarak silindirik veya kubbe şeklindedir. İşleme sırasında haznenin içinde vakum veya kontrollü bir atmosfer sağlamak için flanş veya O-halka conta gibi hassas şekilde tasarlanmış, hava geçirmez bir sızdırmazlık mekanizmasına sahiptir.

Yarı İletken Kuvars Sırça Kavanoz mükemmel optik netlik sunarak operatörlerin doğruluktan ödün vermeden veya parazit yaratmadan hazne içindeki işlemleri görsel olarak izlemelerine olanak tanır. Kuvars, yarı iletken üretim süreçlerinde yaygın olarak kullanılan asitlerin, bazların ve çözücülerin çoğunun kimyasal saldırılarına karşı oldukça dirençlidir. Bu, odanın bütünlüğünü sağlar ve alt tabakaların kirlenmesini önler.

Kuvarsın yüksek bir erime noktası ve termal stabilitesi vardır, bu da Yarı İletken Kuvars Sırça Kavanozun deformasyon veya bozulma olmadan biriktirme veya tavlama işlemleri sırasında karşılaşılan yüksek sıcaklıklara dayanabilmesini sağlar.

Uygulamalar:

Biriktirme: Yarı İletken Kuvars Sırça Kavanozları, ince malzeme filmlerini yarı iletken alt tabakalar üzerine hassas ve düzgün bir şekilde biriktirmek için kimyasal buhar biriktirme (CVD), fiziksel buhar biriktirme (PVD) ve atomik katman biriktirme (ALD) gibi çeşitli biriktirme tekniklerinde kullanılır.

Aşındırma: Yüksek doğruluk ve tekrarlanabilirliğe sahip karmaşık desenler ve yapılar oluşturarak, yarı iletken levhalardan malzemeyi seçici olarak çıkarmak için plazma aşındırma işlemlerinde kullanılırlar.

Tavlama: Çan kavanozları, yarı iletken levhaları kontrollü ısıl işleme tabi tutmak, kristalleşmeyi kolaylaştırmak, katkı maddesi aktivasyonunu ve biriktirilen filmlerde stres gidermeyi sağlamak için tavlama işlemlerinde kullanılır.