8 inç epi üst yüzük

Semicorex 8 inç EPI üst halka, reaksiyon odasındaki üst kapak halkı olarak yüksek performans sağlayan epitaksiyal (EPI) biriktirme sistemlerinin özel bir bileşenidir. Yarı iletken gofretlerin epitaksiyal büyümesi sırasında yapısal bütünlük ve termal stabilite üzerine odaklanan EPI üst halka, yüksek saflıkta grafitten yapılmış ve yarı iletken üretiminin sıcaklığına ve kimyasal olarak reaktif ortamlarına dayanacak silikon karbür (sic) ile kaplanmıştır.

Epitaksiyal reaktörlerde, üst halka gofret ortamını korumaya yardımcı olur ve suyurucu düzeneğinin bir parçası olarak birikme sırasında sıcaklık homojenliği ve gaz akışında önemli bir rol oynar. Grafit substratı üzerindeki SIC kaplama, EPI üst halkasının (hidrojen, silan, klorosilanlar vb.) Performansı sırasında proses gazlarına maruz kalma nedeniyle grafit çekirdeğini korumak için gereken termal stabilite ve inert ortam ile EPI üst halkasını sağlar. SIC katmanının sertliği ve iletkenliği, bozulmayı önleyerek ve üretim döngüsü boyunca daha kararlı katmanlara izin vererek EPI üst halkasının performansını arttırır.

Boyutsal doğruluk, kaplama tutarlılığı ve tekrarlanabilirlik taahhüdüyle, 8 inç EPI üst halkası hassas mühendislik ile üretilir. Grafit substratı, sıkı toleranslara işlenir ve safsızlık ve mukavemetle temiz bir substrat vererek safsızlıkları ayıracak şekilde termal olarak saflaştırılır. SIC kaplama, yoğun, tutarlı ve güçlü bir şekilde bağlanmış koruyucu bir tabaka oluşturmak üzere kimyasal buhar birikimi (CVD) yoluyla uygulanır. Bu işlem parçacık oluşumunu en aza indirir ve kaplamanın uzun süreli kullanım sırasında yüzey bütünlüğünü korumasını sağlar.

Yarı iletken üreticileri, kritik oda parametrelerini korumak ve üretim sırasında kusursuz gofretleri desteklemek için EPI üst halkasına güvenir. Yapılandırma, önde gelen OEM 8 inç gofret işleme sistemleriyle kullanılmak üzere tasarlanmıştır. Daha iyi termal yönetim veya hatta gaz dağılımı için kalınlık, yüzey kaplaması ve oluklu tasarımlar için özel seçenekler mevcuttur.

Bu uygulama için SIC kaplamalı grafitin özelliklerine uymak, her iki malzemeden en iyi özellikleri alır; Grafit çok işlenebilir ve daha sert, korozyona dayanıklı ve daha uzun servis ömrüne sahip silikon karbür ile birleştirilmiş termal şok direncine sahiptir. Bu kombinasyon nihayetinde size yüksek sıcaklıkta güvenilir olan bir EPI üst halkası verir ve bakım aralıklarını azaltan ve genel olarak gelişmiş ekipman çalışma süresi sağlayan temiz ve kararlı bir işleme ortamını garanti eder.

Grafit bileşenleri yarı iletken üretiminde vazgeçilmez ve önemli bir rol oynar. Grafit malzemenin kalitesi, bitmiş ürünün kalitesini önemli ölçüde etkiler. Grafit parti kıvamımız ve malzeme homojenliğimiz üretim süreci boyunca kontrol edilir ve garanti edilir.

1. Sadece 50 metreküp kapasiteli küçük bir karbonizasyon fırını kullanılarak küçük toplu üretim.

2. Her malzeme parçası izlenir ve izlenir.

3. Sıcaklık izleme Fırın içindeki birden fazla noktada minimum sıcaklık farklılıkları sağlar.

4. Malzemede birden fazla noktada sıcaklık izleme minimum sıcaklık farklılıkları sağlar.

Semicorex by 8 inç EPI üst halka, en zor yarı iletken silikon, silikon karbür veya diğer bileşik yarı iletken epitaksi işlemlerinde olağanüstü performans, parti-parti tutarlılık ve kanıtlanmış güvenilirlik sunar. Her üretim adımında, kalite kontrolüne sahip ürünler üretiyoruz, yani yarı iletken endüstrisi için satın alınan her ürün kalite spesifikasyonlarını aşıyor.

Epitaxy uygulamanız için Semicorex'in 8 inç EPI Üst halkasını seçin, hassas mühendislik, üstün malzemeler ve verimleri ve cihaz performansını iyileştirmek için uygulamaya özgü özelleştirme ile sunulan olasılıklardan yararlanın.