8 inç gofretli halkalar

Semicorex 8 inç gofretli halkalar, silikon gofretleri önemli termal, dağlama ve biriktirme işlemleri yoluyla güvenli bir şekilde güvence altına almayı ve desteklemeyi amaçlayan en yeni yarı iletken işleme donanımıdır. Yoğun bir yüksek kaliteli grafitten yapılmışSilikon karbür kaplaması (sic)Ek mukavemet için, gofret tutucu halkası üstün termal stabilite, kimyasal direnç ve mekanik mukavemet verir, CVD (kimyasal buhar birikimi), PECVD ve epitaks sistemleri gibi yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda kullanım için idealdir.

Temel Özellikler:

Malzeme Kompozisyonu:

Substrat malzemesiyüksek saflıkta grafityüksek termal iletkenlik ve yapısal homojenlik için seçilen. Yüksek yoğunluk ve üniformaSilikon karbür (sic) film kaplama1000 ° C'den fazla yüksek sıcaklıklarda bile oksidasyona ve kimyasal saldırıya karşı yüksek direnç gösteren yüzeye uygulanır. Karışım, uzun süreli bir raf ömrü ve gofretlerin minimum kontaminasyon riski içerir.

Güvenli gofret konumlandırma

Özellikle 8 inç (200 mm) gofret tutmak için tasarlanan gofret tutucu halkası, gofreti güvenli bir şekilde kavramak için hassas toleranslar ve optimum olarak tasarlanmış bir iç geometri tutar. Halka termal döngü ve gaz akışı sırasında pozisyonda sabit kalır, bu da parçacık yaratma veya gofret kırılmasına yol açabilecek mikro hareketleri en aza indirir.

Termal tekdüzelik:

Grafit substratının doğal termal iletkenliği ve SIC kaplamanın stabilitesi, gofret yüzeyi üzerinde tutarlı ısı transferi sağlar. Bu, tutarlı işlem sonuçları, azaltılmış termal stres ve daha iyi cihaz verimi ile sonuçlanır.

Kimyasal ve Plazma Direnci:

SIC yüzeyi, grafit çekirdeğini sert proses plazmalarından ve gazlardan korur ve tekrarlanan işlem döngülerine karşı bir direnç sağlar. Kimyasal inertlik özellikle aşındırıcı halojen içeren etchant veya reaktif gaz ortamlarında faydalıdır.

Özelleştirme Mevcut:

8 inç gofret tutucu halkalar, belirli ekipman veya işlem gereksinimlerini karşılamak için özel olarak tasarlanabilir, yani kenar destek tasarımındaki varyasyonlar, yuvaların yeri ve montaj yapılandırması. Tasarımcılarımız, her kullanım için mümkün olan en yüksek performansı sağlamak için OEM'ler ve FABS ile birlikte çalışırlar.

Uygulamalar:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• Epitaksiyal büyüme süreçleri
• Difüzyon fırınları
• Yüksek sıcaklık tavlama
• Diğer yarı iletken termal işleme sistemleri

Her 8 inçlik gofretli halkalar, boyut doğruluğu doğrulaması, kaplama yapışma testi ve termal bisiklet yeterliliği gibi titiz bir incelemeye tabi tutulur. Gelişmiş üretim teknolojimiz, yarı iletken endüstrisinin yüksek taleplerini yerine getirmek için düzgün SIC kaplama kalınlığı ve en iyi yüzey kaplaması sağlar.

Semicorex 8 inç gofretli halkalar (SIC kaplı grafit), mekanik hassasiyet, malzeme dayanıklılığı ve kimyasal stabilite sağlayan yeni nesil yarı iletken üretimi için önemli bir ekipmandır. Proses ekipmanı yükseltmelerinden yeni nesil gofret platformlarının inşasına kadar, bu ürün günümüzün zorlu üretim ortamlarını sağlamak için gereken güvenilirliği ve performansı sunar.