Alüminyum Nitrür Seramik Ayna

Alüminyum Nitrür Seramik Ayna, yarı iletken levha işleme için son teknoloji ürünü bir çözümü temsil eder ve özellikle üretimin çeşitli aşamalarında levhaları güvenli bir şekilde yerinde tutmak için tasarlanmıştır. Elektrostatik ayna (ESC) olarak işlev gören bu yenilikçi cihaz, hassas ve güvenilir levha tutuşu sağlamak için Alüminyum Nitrür seramiğinin olağanüstü özelliklerinden yararlanır.

Semicorex Alüminyum Nitrür Seramik Ayna, levhayı yüzeyine sıkıca kavramak için elektrostatik kuvvetler kullanır. Bu, yüksek voltajla stratejik olarak öngerilimlendirilmiş entegre elektrotlara sahip, titizlikle tasarlanmış bir plaka aracılığıyla elde edilir. Sonuç olarak, levha ile levha arasında elektrostatik bir tutma kuvveti oluşturulur ve işlem aşamaları boyunca levhayı etkin bir şekilde yerinde hareketsiz hale getirir.

Alüminyum Nitrür Seramik Aynanın öne çıkan özelliklerinden biri, yüksek ısı iletkenliği ve yalıtım özelliklerinin olağanüstü birleşimidir. Bu benzersiz özelliklerin karışımı, onu ESC uygulamaları için ideal bir malzeme seçimi haline getiriyor. Yüksek termal iletkenlik, işleme sırasında levha boyunca eşit sıcaklık dağılımını korumak için çok önemli olan verimli ısı dağılımını sağlar. Aynı zamanda olağanüstü yalıtım özellikleri, ayna ile levha arasında elektriksel izolasyon sağlayarak elektriksel parazit veya hassas yarı iletken bileşenlere zarar verme riskini en aza indirir.

Alüminyum Nitrür Seramik Ayna, geleneksel ayna malzemelerine göre çeşitli avantajlar sunar. Sağlam yapısı, yarı iletken üretim ortamlarının zorlu taleplerine dayanabilecek kapasitede, uzun süreli dayanıklılık sağlar. Ek olarak, yüksek sıcaklıktaki işlemlerle uyumluluğu ve termal genleşmeye karşı direnci, onu tutarlı ve yüksek kaliteli gofret işleme sonuçları elde etmek için vazgeçilmez bir araç haline getiriyor.