Elektrostatik Chuck ESC

Semicorex Elektrostatik Chuck ESC, dielektrik seramik katmanına uygulanan yüksek voltajlı doğru akımı (DC) kullanarak elektrostatik yapışma prensibiyle çalışır. Bu teknoloji, işleme sırasında plakaların veya diğer malzemelerin güvenli bir şekilde tutturulmasına olanak tanır ve çeşitli imalat aşamaları boyunca hem stabilite hem de hassasiyet sağlar.

Aynaya yüksek bir DC voltajı uygulandığında, seramik dielektrik katman içindeki yüklü iyonlar göç eder ve yüzeyinde birikir. Bu, ayna ile işlenecek ürün arasında güçlü bir elektrostatik alan oluşturur. Üretilen elektrostatik çekim, levhayı yerinde tutacak kadar sağlamdır ve karmaşık ve yüksek hassasiyetli işlemler sırasında bile hareketsiz kalmasını sağlar. Bu güvenli tutuş, işlenmiş levhaların kalitesini ve bütünlüğünü tehlikeye atabilecek mikro hareketleri ve titreşimleri azaltmaya yardımcı olduğundan kritik öneme sahiptir. Plakaları minimum mekanik temasla sabitleme yeteneği aynı zamanda fiziksel hasarı da önler; bu, geleneksel sıkıştırma yöntemlerine göre belirgin bir avantajdır.

J-R tipi Elektrostatik Chuck ESC, bu elektrostatik yapışmayı oluşturmak için gerekli olan yerleşik elektrotlarla donatılmıştır. Bu elektrotlar, elektrostatik kuvveti levhanın veya işlenen diğer malzemelerin yüzeyine eşit şekilde dağıtmak için aynanın içine konumlandırılır. Bu eşit dağılım, aşındırma, iyon implantasyonu ve biriktirme gibi karmaşık işlemler sırasında eşitliği korumak için gerekli olan tutarlı basıncı sağlar. Elektrostatik Chuck ESC'nin sunduğu hassas yapışma, modern yarı iletken imalatının zorlu spesifikasyonlarına uyum sağlamasına olanak tanır.

Ana yapışma işlevine ek olarak Elektrostatik Chuck ESC, gelişmiş bir sıcaklık kontrol sistemine sahiptir. Ayna, işlenen ürünün sıcaklığını düzenlemek için tasarlanmış entegre ısıtma elemanları içerir. Yarı iletken üretiminde sıcaklık kontrolü çok önemli bir faktördür, çünkü hafif sıcaklık değişimleri bile prosesin sonucunu etkileyebilir. Elektrostatik Chuck ESC, çok bölgeli sıcaklık kontrolü sunarak levhanın farklı bölümlerinin bağımsız olarak ısıtılmasına veya soğutulmasına olanak tanır. Bu, sıcaklığın levhanın tüm yüzeyi boyunca tutarlı bir şekilde korunmasını sağlayarak, tekdüze işleme sonuçlarını teşvik eder ve termal hasar veya eğrilme riskini azaltır.

Elektrostatik Chuck ESC'nin yapımında yüksek saflıkta malzemelerin kullanılması dikkat çeken bir diğer özelliktir. Bu ayna için seçilen malzemeler, yarı iletken üretiminde kritik bir husus olan partikül kirliliğini en aza indirecek şekilde tasarlanmıştır. Küçük parçacıklar bile üretilen mikro yapılarda kusurlara neden olabilir, bu da verimin azalmasına ve potansiyel ürün arızasına yol açabilir. Yüksek saflıkta malzemeler kullanan Elektrostatik Chuck ESC, kirletici maddelerin işleme ortamına girme riskini azaltır ve böylece yüksek kaliteli üretimi destekler.

Elektrostatik Chuck ESC, plazma erozyonuna karşı dayanıklıdır. Birçok yarı iletken proseste, özellikle aşındırma ve biriktirmede ayna, reaktif plazma ortamlarına maruz kalır. Zamanla bu maruz kalma, aynada kullanılan malzemeleri bozarak performansını ve ömrünü etkileyebilir. Elektrostatik Chuck ESC, plazma erozyonuna direnmek üzere özel olarak tasarlanmıştır ve zorlu işleme ortamlarında bile yapısal bütünlüğünü ve performansını korumasına olanak tanır. Bu dayanıklılık, daha uzun bir hizmet ömrü anlamına gelir, sık sık değiştirme ihtiyacını azaltır ve üretim hattındaki aksama süresini en aza indirir.

Elektrostatik Chuck ESC'nin mekanik özellikleri de kritik öneme sahiptir. Ayna, belirli uygulamalar için gereken hassas şekil ve boyutları korumasını sağlayacak şekilde son derece sıkı toleranslarla üretilmiştir. Eşit elektrostatik yapışmayı sağlamak ve hassas levhalara zarar verme riskini en aza indirmek için gerekli olan yüzey düzgünlüğünü ve pürüzsüzlüğünü elde etmek için yüksek hassasiyetli işleme teknikleri kullanılır. Aynanın mekanik gücü de aynı derecede etkileyici olup, yüksek sıcaklık ve yüksek basınçlı işlemler sırasında uygulanan fiziksel gerilimlere, levhayı güvenli bir şekilde tutma yeteneğini deforme etmeden veya kaybetmeden dayanmasına olanak tanır.