Yarı İletken için Seramik Odak Halkaları

Semicorex seramikodak halkasıYarı iletkenlere yönelik ürünler, zorlu plazma aşındırma çalışma koşulları için özel olarak tasarlanmış ideal çözümlerdir. Gelişmiş yarı iletken aşındırma işlemi sırasında, aşındırma odası stabilitesini ve tutarlı yarı iletken aşındırma tekdüzeliğini sağlayabilecek plazma dağılımını hassas bir şekilde kontrol etmek çok önemlidir. Gelişmiş aşındırma ekipmanında kullanılan vazgeçilmez bileşenler olan odak halkaları, genellikle yarı iletken levhaların etrafına konumlandırılır ve onlarla doğrudan temas eder. Odak halkalarının performansı, proses tekrarlanabilirliği, ürün verimi ve ekipmanın çalışma süresi üzerinde doğrudan etki yaratır.

Yarı iletkenler için Semicorex seramik odak halkalarının avantajları

1.Ultra yüksek malzeme saflığı

Bizim saflığımızCVD SiCmalzeme %99,9995'i aşıyor. Bu, yetersiz malzeme saflığından kaynaklanan aşındırma odasının ve yarı iletken levhaların kirlenmesini etkili bir şekilde önleyebilir.

2. Olağanüstü korozyon direnci

Yarı iletken için Semicorex seramik odak halkaları CVD SiC'den yapılmıştır; oksidasyona, erozyona ve kimyasal korozyona karşı mükemmel direnç gösterir ve özellikle HF ve HCI gibi proses gazlarına ve ayrıca plazma gazına karşı etkilidir.

3. Üstün direnç performansı

Yarı iletken için Semicorex seramik odak halkalarının direnç bütünlüğü %5'ten azdır.

Direnç aralıkları: Düşük Çözünürlük. (<0,02 Ω·cm), Orta Çöz. (0,2–25 Ω·cm), Yüksek Çözünürlük. (>100 Ω·cm).

Yarı iletken için Semicorex seramik odak halkalarının işlevleri

1. Kenar elektrik alanını ve plazma dağılımını kontrol edin ve eşitleyin

Yarı iletken için Semicorex seramik odak halkaları, aşındırma odası içindeki elektrik alanının dağılımını kontrol edebilir ve yarı iletken levhaların etrafında daha düzgün bir plazma kılıfı elde ederek plazmanın levha yüzeyine dikey ve düzgün bir şekilde çarpmasını sağlar. Bu şekilde, aşındırma kenarı etkisi büyük ölçüde azaltılabilir ve aşındırma hassasiyeti önemli ölçüde geliştirilebilir.

2. Elektrostatik aynayı koruyun

Aşındırma işleminde odak halkalarının korunması olmadan elektrostatik ayna, yüksek enerjili plazmanın bombardımanına ve erozyonuna maruz kalacaktır. Elektrostatik aynalar, değiştirme masrafı son derece yüksek olan yüksek maliyetli malzemelerden yapılmıştır. Odak halkalarının kullanılması, elektrostatik aynadaki plazma korozyonunu etkili bir şekilde azaltabilir ve elektrostatik aynanın bakım ve değiştirme maliyetlerini en aza indirebilir.