Kenar halkaları

Semicorex kenar halkaları, özellikle plazma gravürü ve kimyasal buhar birikimi (CVD) gibi gofret işleme uygulamaları için tam yarı iletken üretim sürecinin kritik bir parçasıdır. Kenar halkaları, proses stabilitesini, gofret verimini ve cihaz güvenilirliğini artırırken enerjiyi eşit olarak dağıtmak için bir yarı iletken gofretin dış çevresini çevrelemek için tasarlanmıştır. Kenar halkalarımız yüksek saflıkta kimyasal buhar birikimi silikon karbürden (CVD SIC) yapılmıştır ve zorlu işlem ortamları için üretilmiştir.

Gofretin kenarındaki enerji homojenliği ve plazma bozulmasının kusurlar, süreç kayması veya verim kaybı için risk oluşturduğu plazma bazlı süreçler sırasında ortaya çıkar. Kenar halkaları, enerji alanını gofretin dış çevresine odaklayarak ve şekillendirerek bu riski en aza indirir. Kenar halkaları, gofretin dış kenarının hemen dışında oturur ve kenar etkilerini en aza indiren, gofret kenarını aşırı vuruştan koruyan ve gofret yüzeyinde temel ek tekdüzelik sağlayan işlem bariyerleri ve enerji kılavuzları olarak hareket eder.

CVD SIC'nin Maddi Faydaları:

Kenar halkalarımız, sert işlem ortamları için benzersiz bir şekilde tasarlanmış ve tasarlanmış yüksek saflıkta CVD SIC'den üretilmiştir. CVD SIC, olağanüstü termal iletkenlik, yüksek mekanik mukavemet ve mükemmel kimyasal direnç ile karakterizedir - CVD SIC'yi dayanıklılık, stabilite ve düşük kontaminasyon sorunları gerektiren yarı iletken uygulamalar için tercih edilen malzeme haline getiren tüm özellikler.

Yüksek Saflık: CVD SIC, sıfıra yakın safsızlıklara sahiptir, yani çok az partikül üretilmeyecek veya hiç olmayacak ve gelişmiş düğüm yarı iletkenlerinde hayati önem taşıyan metal kontaminasyonu olmayacaktır.

Termal stabilite: Malzeme, plazma pozisyonunda uygun gofret yerleşimi için çok önemli olan yüksek sıcaklıklarda boyutsal stabiliteyi korur.

Kimyasal İnertlik: Bir plazma aşınma ortamında yaygın olarak kullanılan flor veya klor içerenler gibi aşındırıcı gazlara ve CVD işlemlerinde inerttir.

Mekanik Güç: CVD SIC, maksimum ömrü sağlayan ve bakım maliyetlerini en aza indiren uzatılmış döngü süreleri boyunca çatlamaya ve erozyona dayanabilir.

Her kenar halkası, işlem odasının geometrik boyutlarını ve gofretin boyutunu karşılamak için özel olarak tasarlanmıştır; Tipik olarak 200mm veya 300mm. Kenar halkasının mevcut işlem modülünde modifikasyona gerek kalmadan kullanılabilmesini sağlamak için tasarım toleransları çok sıkı alınır. Benzersiz OEM gereksinimlerini veya takım konfigürasyonlarını karşılamak için özel geometriler ve yüzey kaplamaları mevcuttur.