SiC Kaplamalı Grafit Süseptör

SiC Kaplamalı Grafit Suseptör üzerindeki SiC kaplama birçok amaca hizmet eder. İlk olarak, epitaksiyel büyüme süreçleri sırasında sıcaklık gradyanları üzerinde hassas kontrole izin vererek gelişmiş termal stabilite sağlar. Bu stabilite, yarı iletken plakalarda tekdüze ve yüksek kaliteli silikon katmanları elde etmek için çok önemlidir. SiC Kaplamalı Grafit Suseptör üzerindeki SiC kaplama, kimyasal korozyona ve termal şoka karşı mükemmel direnç sunarak, zorlu proses koşullarında bile süspatörün bütünlüğünü korur. Bu dayanıklılık, daha uzun çalışma ömrü ve daha az arıza süresi anlamına gelir ve sonuç olarak yarı iletken üretim tesisleri için daha yüksek üretkenliğe ve maliyet etkinliğine katkıda bulunur.

SiC Kaplamalı Grafit Suseptör'ün namlu tasarımı, levhaların verimli bir şekilde yüklenmesini ve boşaltılmasını kolaylaştırarak epitaksi süreçlerinde verimi optimize eder. Ek olarak, SiC Kaplamalı Grafit Süseptör özelleştirilmiş bir üründür ve yarı iletken üreticilerinin özel gereksinimlerini ve tercihlerini karşılayacak şekilde uyarlanabilir, böylece farklı ekipman konfigürasyonları ve proses parametreleriyle uyumluluk sağlanır.