Silikon Epitaksi için SiC Varil

Silikon Epitaksi için Semicorex SiC Namlu, Silikon Karbür (SiC) ile kaplanmış grafit malzeme kullanılarak yapılmıştır. Bu benzersiz yapı, termal şoklara ve kimyasal bozunmaya karşı mükemmel direnç sağlayarak, suseptör ömrünü uzatır ve proses güvenilirliğini korur.

Silikon Epitaksi İçin SiC Namlu üzerindeki gelişmiş SiC kaplama, üstün termal iletkenlik ve ısı dağılımı sağlayarak, suseptör boyunca eşit sıcaklık profillerini destekler. Bu, proses kontrolünü geliştirir, termal gradyanları en aza indirir ve tutarlı epitaksiyel katman büyümesini sağlayarak olağanüstü homojenlik ve saflığa sahip yüksek kaliteli silikon filmler sağlar.

Silikon Epitaksi İçin SiC Namlumuz, özel gereksinimleri ve tercihleri ​​karşılayacak şekilde özelleştirilebilir. Boyut ayarlamalarından kaplama kalınlığı değişikliklerine kadar, çeşitli proses parametrelerini karşılamak ve belirli uygulamalar için performansı optimize etmek amacıyla tasarımda esneklik sunuyoruz.

Silikon Epitaksi İçin SiC Namlumuz güvenilirlik ve uzun ömür sunarak sık değiştirmelerden kaynaklanan arıza sürelerini ve bakım maliyetlerini azaltır. Sağlam yapısı ve olağanüstü performansı, gelişmiş süreç verimliliğine katkıda bulunarak yarı iletken üretim operasyonlarında üretkenliği ve maliyet etkinliğini artırır.